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Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/013323    International Application No.:    PCT/JP2010/004636
Publication Date: 03.02.2011 International Filing Date: 20.07.2010
H01J 37/16 (2006.01), F16F 15/04 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
OHTAKI, Tomohisa [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AJIMA, Masahiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITO, Sukehiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ONUMA, Mitsuru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OMACHI, Akira [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OHTAKI, Tomohisa; (JP).
AJIMA, Masahiko; (JP).
ITO, Sukehiro; (JP).
ONUMA, Mitsuru; (JP).
OMACHI, Akira; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2009-177196 30.07.2009 JP
(JA) 走査電子顕微鏡
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is a desktop-type electron microscope wherein a control system containing an electron microscope main body, an exhaust system, a power source, and a cooling fan is disposed on a bottom plate. The desk-top type electron microscope is intended to obtain a high-resolution image. In the electron microscope, the electron microscope main body, the exhaust system for exhausting the inside of the electron microscope main body, and the control system for the electron microscope main body are disposed on the bottom plate and within a space surrounded by a cover. The electron microscope is characterized in that the control system is disposed on the bottom plate, the bottom plate has an opening, and the electron microscope main body is disposed on a floor on which the bottom plate is disposed, via a damper passing through the opening. Vibrations generated by a cooling fan or the like within a device are prevented from being transferred to the electron microscope main body, so that the electron microscope can obtain a high-resolution observation image.
(FR)L'invention concerne un microscope électronique de bureau, un système de commande contenant un corps principal de microscope électronique, un système d'évacuation, une source d'alimentation, et un ventilateur de refroidissement, étant disposé sur une plaque inférieure. Le microscope électronique de bureau est destiné à obtenir une image à haute résolution. Dans le microscope électronique, le corps principal de microscope électronique, le système d'évacuation pour l'évacuation de l'intérieur du corps principal de microscope électronique, et le système de commande pour le corps principal de microscope électronique sont disposés sur la plaque inférieure et dans un espace entouré par un couvercle. Le microscope électronique est caractérisé en ce que le système de commande est disposé sur la plaque inférieure, la plaque inférieure comporte une ouverture, et le corps principal de microscope électronique est disposé sur un plancher sur lequel la plaque inférieure est disposée, par l'intermédiaire d'un amortisseur traversant l'ouverture. Les vibrations générées par un ventilateur de refroidissement ou analogue dans un dispositif ne peuvent pas être transférées au corps principal de microscope électronique, de telle sorte que le microscope électronique peut obtenir une image d'observation à haute résolution.
(JA) 本発明が解決しようとする課題は、電子顕微鏡本体,排気系,電源および空冷ファンを含む制御系が一つの底板の上に設置される卓上型の電子顕微鏡において、より高分解能の画像を取得することを目的とする。 本発明は、電子顕微鏡本体と、電子顕微鏡本体の内部を排気する排気系と、前記電子顕微鏡本体の制御系が底板およびカバーで囲われた空間内部に配置される電子顕微鏡であって、前記制御系は、前記底板に配置され、前記底板には開口部があり、前記電子顕微鏡本体は、前記底板が設置される床上に前記開口部を通るダンパーを介して設置されることを特徴とする。 空冷ファンなど装置内部から発生する振動が電子顕微鏡本体に伝わるのを防ぐことで、より高分解能の観察画像を得ることが可能になる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)