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1. (WO2011012503) OPTICAL SYSTEM FOR GENERATING A LIGHT BEAM FOR TREATING A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/012503    International Application No.:    PCT/EP2010/060504
Publication Date: 03.02.2011 International Filing Date: 20.07.2010
IPC:
G02B 27/09 (2006.01), B23K 26/06 (2006.01), B23K 26/073 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
WANGLER, Johannes [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LAYH, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ZENZINGER, Markus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MUENZ, Holger [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: WANGLER, Johannes; (DE).
LAYH, Michael; (DE).
ZENZINGER, Markus; (DE).
MUENZ, Holger; (DE)
Agent: WITTE, WELLER & PARTNER; Postfach 10 54 62 70047 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2009 037 112.5 31.07.2009 DE
Title (DE) OPTISCHES SYSTEM ZUM ERZEUGEN EINES LICHTSTRAHLS ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS
(EN) OPTICAL SYSTEM FOR GENERATING A LIGHT BEAM FOR TREATING A SUBSTRATE
(FR) SYSTÈME OPTIQUE POUR PRODUIRE UN RAYON LUMINEUX DESTINÉ AU TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(DE)Ein optisches System zum Erzeugen eines Lichtstrahls zur Behandlung eines in einer Substrat ebene (14) angeordneten Substrats, wobei der Lichtstrahl in einer ersten Dimension (X) senkrecht zur Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtstrahls eine Strahllänge (L) und in einer zweiten Dimension (Y) senkrecht zur ersten Dimension (X) und zur Lichtausbreitungsrichtung (Z) eine Strahlbreite (B) aufweist, wobei die Strahllänge (L) groß gegenüber der Strahlbreite (B) ist, weist eine erste optische Anordnung (18) auf, die eine Mehrzahl von in der ersten Dimension (X) nebeneinander angeordneten Lichtkanälen (26; 28) definiert, die den Lichtstrahl in der ersten Dimension (X) in eine Mehrzahl von Teilfeldern (30, 32, 34) aufteilen, wobei die Teilfelder (30, 32, 34) in der ersten Dimension (X) einander überlagert in die Substratebene (14) einfallen. Eine zweite optische Anordnung (20) ist in Lichtausbreitungsrichtung vor der ersten optischen Anordnung (18) angeordnet, die in der ersten Dimension (X) eine solche Ausdehnung aufweist und ein Winkelspektrum des auf die zweite optische Anordnung (18) einfallenden Lichtstrahls (42) in der ersten Dimension (X) so verbreitert, dass der Lichtleitwert der zweiten optischen Anordnung (20) in der ersten Dimension (X) 50% bis 100% des Gesamtlichtleitwerts des optischen Systems (10) in der ersten Dimension (X) beträgt, so dass näherungsweise alle Lichtkanäle (26; 28) der ersten optischen Anordnung (18) gleichmäßig mit Licht ausgeleuchtet sind.
(EN)The invention relates to an optical system for generating a light beam for treating a substrate disposed in a substrate plane (14), wherein the light beam comprises a beam length (L) in a first dimension (X) perpendicular to the direction of propagation (Z) of the light beam, and has a beam width (B) in a second dimension (Y) perpendicular to the first dimension (X) and to the direction of propagation (Z) of light, wherein the beam length (L) is large relative to the beam width (B), having a first optical arrangement (18) defining a plurality of light channels (26; 28) disposed adjacent to each other in the first dimension (X) and dividing the light beam into a plurality of partial fields (30, 32, 34) in the first dimension (X), wherein the partial fields occur on the substrate plane overlapping each other in the first dimension (X). A second optical arrangement (20) is disposed ahead of the first optical arrangement (18) in the light propagation direction, having such an extent in the first dimension (X) and expanding an angle spectrum of the light beam (42) occurring on the first optical arrangement (18) in the first dimension so that the light conduction value of the second optical arrangement (20) in the first dimension (X) is 50% to 100% of the total light conduction value of the optical system (10), so that nearly all light channels (26; 28) of the first optical arrangement (18) are uniformly illuminated with light.
(FR)L'invention porte sur un système optique destiné à produire un rayon lumineux pour traiter un substrat disposé sur un plan de substrat (14), le rayon lumineux ayant, dans une première dimension (X) perpendiculaire à la direction de propagation (Z) du rayon lumineux une longueur de rayon (L) et, dans une deuxième dimension (Y) perpendiculaire à la première dimension (X) et à la direction (Z) de propagation de la lumière, une largeur de rayon (B), la longueur de rayon (L) étant grande par comparaison avec la largeur de rayon (B). Ce système comprend un arrangement optique (18), qui définit un grand nombre de canaux de lumière (26; 28) disposés les uns à côté des autres dans la première dimension (X), canaux qui subdivisent le rayon lumineux, dans la première dimension (X), en un grand nombre de champs partiels (30, 32, 34), les champs partiels (30, 32, 34) de la première dimension (X) tombant sur le plan de substrat (14) en étant superposés les uns aux autres. Un deuxième arrangement optique (20) est disposé dans la direction de propagation de la lumière en avant du premier arrangement optique (18), qui dans la première dimension (X) présente une telle propagation, et qui élargit un spectre angulaire du rayon lumineux (42), tombant sur le deuxième arrangement optique, dans la première dimension (X), de façon que la conductance de la lumière du deuxième arrangement optique (20) dans la première dimension (X) soit de 50 % à 100 % de la conductance globale de la lumière du système optique (10) dans la première dimension (X), de façon qu'approximativement tous les canaux de lumière (26; 28) du premier arrangement optique (18) soient uniformément éclairés par la lumière.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)