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1. (WO2011012485) OPTICAL SYSTEM FOR GENERATING A LIGHT BEAM FOR TREATING A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2011/012485    International Application No.:    PCT/EP2010/060417
Publication Date: 03.02.2011 International Filing Date: 19.07.2010
IPC:
G02B 27/09 (2006.01), G02B 27/48 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
MUENZ, Holger [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MERKEL, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FIOLKA, Damian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WANGLER, Johannes [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MUENZ, Holger; (DE).
MERKEL, Wolfgang; (DE).
FIOLKA, Damian; (DE).
WANGLER, Johannes; (DE)
Agent: WITTE, WELLER & PARTNER; Postfach 10 54 62 70047 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2009 037 141.9 31.07.2009 DE
Title (DE) OPTISCHES SYSTEM ZUM ERZEUGEN EINES LICHTSTRAHLS ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS
(EN) OPTICAL SYSTEM FOR GENERATING A LIGHT BEAM FOR TREATING A SUBSTRATE
(FR) SYSTÈME OPTIQUE POUR PRODUIRE UN RAYON LUMINEUX DESTINÉ AU TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(DE)Ein optisches System zum Erzeugen eines Lichtstrahls zur Behandlung eines in einer Substrat ebene (14) angeordneten Substrats, wobei der Lichtstrahl in einer ersten Dimension (X) senkrecht zur Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtstrahls eine Strahllänge (L) und in einer zweiten Dimension (Y) senkrecht zur ersten Dimension (X) und zur Lichtausbreitungsrichtung (Z) eine Strahlbreite (B) aufweist, weist zumindest eine mischende optische Anordnung (18) auf, die den Lichtstrahl in zumindest einer der ersten und zweiten Dimension in eine Mehrzahl von Lichtpfaden (24a-c) aufteilt, die einander überlagert in die Substratebene (14) einfallen. Es ist zumindest eine die Kohärenz beeinflussende optische Anordnung im Strahlengang des Lichtstrahls vorhanden, die auf den Lichtstrahl so wirkt, dass der Kohärenzgrad des Lichts für zumindest einen Lichtpfadabstand eines Lichtpfades von zumindest einem anderen Lichtpfad zumindest verringert ist.
(EN)The invention relates to an optical system for generating a light beam for treating a substrate disposed in a substrate plane (14), wherein the light beam comprises a beam length (L) in a first dimension (X) perpendicular to the direction of propagation (Z) of the light beam, and comprises a beam width (B) in a second dimension (Y) perpendicular to the first dimension (X) and to the direction of propagation (Z) of light, having at least one mixing optical arrangement (18) dividing the light beam into a plurality of light paths (24a-c) in at least one of the first and second dimensions, said paths occurring on the substrate plane overlapping each other. At least one optical arrangement affecting the coherence is present in the beam path of the light beam, acting on the light beam so that the level of coherence of the light is at least reduced for at least one light path distance of a light path from at least one other light path.
(FR)L'invention porte sur un système optique destiné à produire un rayon lumineux pour le traitement d'un substrat disposé dans un plan de substrat (14), le rayon lumineux, ayant, dans une première dimension (X) perpendiculaire à la direction de propagation (Z) du rayon lumineux, une longueur de rayon (L) et, dans une deuxième dimension (Y) perpendiculaire à la première dimension (X) et à la direction (Z) de propagation de la lumière, une largeur de rayon (B). Ce système optique comporte au moins un dispositif optique mélangeur (18), qui subdivise le rayon lumineux, dans au moins l'une de la première et de la deuxième dimension, en un grand nombre de chemins optiques (24a-c), qui tombent sur le plan du substrat (14) en étant superposés les uns aux autres. On a dans la trajectoire du rayon lumineux, au moins un dispositif optique agissant sur la cohérence, dispositif qui agit sur le rayon lumineux de telle sorte que l'on a au moins une diminution du degré de cohérence de la lumière pour au moins un écartement d'un chemin optique d'avec au moins un autre chemin optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)