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1. WO2011011659 - VARIABLE-TILT TEM SPECIMEN HOLDER FOR CHARGED-PARTICLE BEAM INSTRUMENTS

Publication Number WO/2011/011659
Publication Date 27.01.2011
International Application No. PCT/US2010/043012
International Filing Date 23.07.2010
IPC
H01J 37/20 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
H01J 37/26 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
CPC
H01J 2237/20207
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
202Movement
20207Tilt
H01J 2237/31745
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
3174Etching microareas
31745for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
H01J 2237/31749
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
31749Focused ion beam
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants
  • OMNIPROBE, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • AMADOR, Gonzalo [US]/[US] (UsOnly)
  • MILLER, Brian [US]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • AMADOR, Gonzalo
  • MILLER, Brian
Agents
  • THOMAS, John
Priority Data
12/509,18724.07.2009US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) VARIABLE-TILT TEM SPECIMEN HOLDER FOR CHARGED-PARTICLE BEAM INSTRUMENTS
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À TRANSMISSION À INCLINAISON VARIABLE POUR INSTRUMENTS À FAISCEAU DE PARTICULE CHARGÉE
Abstract
(EN)
A variable-tilt specimen holder (100) for a charged particle instrument having a tilt stage (360), where the tilt stage (360) has a maximum range of tilt, a sample plate (280) affixed to the tilt stage (360), and an ion-beam column (320) having an ion-beam column axis. The variable-tilt specimen holder (100) has a base (110) for mounting to the sample plate (280), so that the base (110) is substantially parallel to the tilt stage (360). A rotatably supported pivot plate (140) has slots (210) for holding TEM specimens (270) or TEM grids holding specimens (270). The pivot plate (140) is rotatable so that the TEM specimens (270) held therein can be aligned with the axis of the ion beam column (320) for thinning of the specimen (270). The pivot plate (140) has a range of rotation sufficient to move the preferred axis (275) of thinning of the specimen (270) from a first position where the tilt stage (360) is placed at its maximum range of tilt and the angle between the preferred axis (275) of thinning of the specimen (270) and the axis of the ion beam column (320) is greater than zero, to a second position where the preferred axis (275) for thinning of the specimen (270) is substantially parallel to the axis of the ion-beam column (320).
(FR)
L'invention porte sur un porte-échantillon à inclinaison variable (100) pour un instrument à particule chargée ayant un étage incliné (360), l'étage incliné (360) ayant une plage d'inclinaison maximale, une plaque d'échantillon (280) fixée à l'étage incliné (360), et une colonne de faisceau d'ions (320) ayant un axe de colonne de faisceau d'ions. Le porte-échantillon à inclinaison variable (100) a une base (110) pour le montage sur la plaque d'échantillon (280), de telle sorte que la base (110) est sensiblement parallèle à l'étage incliné (360). Une plaque pivotante supportée en rotation (140) a des fentes (210) pour maintenir des échantillons de microscope électronique à transmission (270) ou des échantillons de support de grille de microscope électronique à transmission (270). La plaque pivotante (140) est apte à tourner, de telle sorte que les échantillons de microscope électronique à transmission (270) maintenus dans celle-ci peuvent être alignés avec l'axe de la colonne de faisceau d'ions (320) pour amincir l'échantillon (270). La plaque pivotante (140) a une plage de rotation suffisante pour déplacer l'axe préféré (275) de l'amincissement de l'échantillon (270) à partir d'une première position dans laquelle l'étage incliné (360) est placé à sa plage d'inclinaison maximale et l'angle entre l'axe préféré (275) de l'amincissement de l'échantillon (270) et l'axe de la colonne de faisceau d'ions (320) est supérieur à zéro, à une seconde position dans laquelle l'axe préféré (275) pour l'amincissement de l'échantillon (270) est sensiblement parallèle à l'axe de la colonne de faisceau d'ions (320).
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