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1. WO2011006697 - METHOD AND USE OF AMINO-FUNCTIONAL RESINS FOR THE DISMUTATION OF HALOGEN SILANES AND FOR REMOVING FOREIGN METALS

Publication Number WO/2011/006697
Publication Date 20.01.2011
International Application No. PCT/EP2010/056771
International Filing Date 18.05.2010
IPC
C01B 33/107 2006.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF
33Silicon; Compounds thereof
08Compounds containing halogen
107Halogenated silanes
CPC
C01B 33/107
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
08Compounds containing halogen
107Halogenated silanes
C01B 33/10773
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
08Compounds containing halogen
107Halogenated silanes
10773Halogenated silanes obtained by disproportionation and molecular rearrangement of halogenated silanes
C01B 33/10784
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
08Compounds containing halogen
107Halogenated silanes
10778Purification
10784by adsorption
C01P 2006/80
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
2006Physical properties of inorganic compounds
80Compositional purity
Applicants
  • EVONIK DEGUSSA GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • MÜH, Ekkehard [DE]/[DE] (UsOnly)
  • RAULEDER, Hartwig [DE]/[DE] (UsOnly)
  • MONKIEWICZ, Jaroslaw [PL]/[DE] (UsOnly)
  • SCHORK, Reinhold [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • MÜH, Ekkehard
  • RAULEDER, Hartwig
  • MONKIEWICZ, Jaroslaw
  • SCHORK, Reinhold
Priority Data
10 2009 027 730.715.07.2009DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) VERFAHREN UND VERWENDUNG VON AMINOFUNKTIONELLEN HARZEN ZUR DISMUTIERUNG VON HALOGENSILANEN UND ZUR ENTFERNUNG VON FREMDMETALLEN
(EN) METHOD AND USE OF AMINO-FUNCTIONAL RESINS FOR THE DISMUTATION OF HALOGEN SILANES AND FOR REMOVING FOREIGN METALS
(FR) PROCÉDÉ ET UTILISATION DE RÉSINES AMINOFONCTIONNELLES POUR LA DISMUTATION DE SILANES HALOGÉNÉS ET POUR L'ÉLIMINATION DE MÉTAUX ÉTRANGERS
Abstract
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Dismutierung mindestens eines Halogensilans und Verminderung des Gehaltes von Fremdmetall und/oder eine Fremdmetall enthaltende Verbindung des mindestens einen Halogensilans und des erhaltenen mindestens einen Silans, indem mindestens ein Halogensilan der allgemeinen Formel (I), HnSiClm, wobei n und m ganzzahlig sind und n = 1, 2 oder 3 und m=1, 2 oder 3 und n + m=4 sind, mit einem partikulären, organischen, aminofunktionellen Harz in Kontakt gebracht wird und mindestens ein Silan der allgemeinen Formel (II), HaSiClb, wobei a und b ganzzahlig sind und a = 0, 2, 3 oder 4 und b = 0, 1, 2 oder 4 mit a + b= 4 sind, in einem Schritt gewonnen wird, in dem der Gehalt an Fremdmetall und/oder Fremdmetall enthaltenden Verbindungen gegenüber dem Halogensilan der Formel (I) vermindert ist. Gegenstand der Erfindung ist ferner die Verwendung dieses Harzes zur Dismutierung von Halogensilanen und als Adsorber von Fremdmetallen oder Fremdmetall enthaltenden Verbindungen in einem Verfahren zur Herstellung von Monosilan.
(EN)
The invention relates to a method for the dismutation of at least one halogen silane and for reducing the content of foreign metal and/or of a compound containing foreign metal in the at least one halogen silane and in the at least one obtained silane, in which at least one halogen silane of the general formula (I), HnSiClm, wherein n and m are whole numbers and n = 1, 2, or 3, and m = 1, 2, or 3, and n + m = 4, is brought into contact with a particulate organic amino-functional resin; and at least one silane of the general formula (II), HaSiClb, wherein a and b are whole numbers and a = 0, 2, 3, or 4, and b = 0, 1, 2 or 4, and a + b = 4, is obtained in a step in which the content of foreign metal and/or of a compound containing foreign metal is reduced compared to the halogen silane of formula (I). The invention further relates to the use of said resin for the dismutation of halogen silanes and as an adsorbent of foreign metal or compounds containing foreign metal in a method for producing monosilane.
(FR)
L'invention concerne un procédé de dismutation d'au moins un silane halogéné et de réduction de la teneur en métaux étrangers et/ou en composé contenant des métaux étrangers, du silane halogéné ou du ou des silanes obtenus. Selon le procédé, au moins un silane halogéné représenté par la formule (I) HnSiClm (I), dans laquelle n et m sont des entiers, n = 1, 2 ou 3, m = 1, 2 ou 3 et n + m = 4, est mis en contact avec une résine aminofonctionnelle organique particulaire, et au moins un silane représenté par la formule (I) HaSiClb (II), dans laquelle a et b sont des entiers, a = 0, 2, 3 ou 4 et b = 0, 1, 2 ou 4 avec a + b = 4, est produit dans une étape, la teneur en métaux étrangers et/ou en composés contenant des métaux étrangers, du silane, étant réduite par rapport au silane halogéné représenté par la formule (I). L'invention concerne également l'utilisation de cette résine pour la dismutation de silanes halogénés et en tant qu'adsorbeur de métaux étrangers ou de composés contenant des métaux étrangers dans un procédé de préparation de monosilane.
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