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1. WO2011006688 - DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING EDGES AND SURFACES

Publication Number WO/2011/006688
Publication Date 20.01.2011
International Application No. PCT/EP2010/055744
International Filing Date 28.04.2010
Chapter 2 Demand Filed 09.03.2011
IPC
G01N 21/88 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
G01N 21/95 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
CPC
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
G01N 21/9503
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
9503Wafer edge inspection
Applicants
  • HSEB Dresden GmbH (AllExceptUS)
  • WOLF, Günther [DE]/[DE] (UsOnly)
  • ZIMMER, Björn [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • WOLF, Günther
  • ZIMMER, Björn
Agents
  • WEISSE, Renate
Priority Data
10 2009 026 186.916.07.2009DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR KANTEN- UND OBERFLÄCHENINSPEKTION
(EN) DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING EDGES AND SURFACES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE BORDS ET DE SURFACES
Abstract
(DE)
Eine Vorrichtung zur Kanten- und/oder Oberflächeninspektion für flache Objekte, insbesondere bearbeitete Wafer, gesägte Wafer, gebrochene Wafer, Waferteilstücke und Wafer jeder Art auf Filmrahmen, Dies, Solarzellen, Displays, Glas- Keramik oder Metallproben sowie Stapel aus diesen Materialien, und andere Wafer oder Die- Konfigurationen mit einem Inspektionskopf (12) enthaltend eine Hellfeldbeleuchtungsanordnung (26) mit einer Lichtquelle und einer Beleuchtungsoptik zum Beleuchten des Objekts, wobei die Beleuchtungsoptik derart ausgebildet ist, dass von der Lichtquelles erzeugtes Licht unter einem Einfallswinkel ungleich 0° auf das Objekt fällt und von dort in Richtung auf ein in dem Inspektionskopf vorgesehenes Objektiv parallel zu dessen Mittenachse reflektiert wird. Weiterhin eine Kombination dieser Vorrichtung mit einer Halterung zur kompletten und allseitigen Aufnahme der Objektkante in einem Abfahren der Kante ohne dass Bereiche durch Stützelemente verdeckt werden, wobei das Objekt nur im Randbereich gehalten wird.
(EN)
The invention relates to a device for inspecting edges and/or surfaces of flat objects, in particular of processed wafers, sawn wafers, broken wafers, parts of wafers, and wafers of every type on film frames, dies, solar cells, displays, glass ceramic or metal samples, and stacks of said materials, and other wafer or die configurations having an inspection head (12) comprising a bright field illumination arrangement (26) having a light source and an illuminating optic for lighting the object, wherein the illumination optic is implemented such that light generated by the light source impinges on the object at an angle other than 0°, and is reflected from there in the direction of an objective provided in the inspection head and parallel to the centerline axis thereof. The invention further relates to a combination of said device and a mounting element for completely receiving the object edge on all sides when traveling along the edge, without regions being covered by support elements, wherein the object is mounted only in the edge zone.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection des bords et/ou de la surface d'objets plats, notamment de plaquettes traitées, de plaquettes sciées, de plaquettes découpées, de parties de plaquettes et de plaquettes de tout type sur des cadres de film, de puces, de cellules solaires, d'écrans, d'échantillons de verre céramique ou de métal ainsi que d'empilements de ces matériaux, et de plaquettes et de puces d'autres configurations. Le dispositif selon l'invention comporte une tête d'inspection (12) comprenant un système d'éclairage à fond clair (26) doté d'une source lumineuse et d'une optique d'éclairage permettant l'éclairage de l'objet, l'optique d'éclairage étant configurée de telle manière que la lumière produite par la source lumineuse frappe l'objet à un angle d'incidence différent de 0° et est alors réfléchie dans la direction d'un objectif présent dans la tête d'inspection parallèlement à l'axe médian de ce dernier. L'invention concerne par ailleurs une combinaison de ce dispositif avec un élément de retenue permettant un enregistrement complet et global du bord de l'objet en suivant le bord sans que des zones soient recouvertes par des éléments de support, l'objet n'étant maintenu que dans la zone périphérique.
Also published as
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