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1. WO2011004692 - DISPLACEMENT MEASUREMENT DEVICE USING OPTICAL INTERFEROMETER

Publication Number WO/2011/004692
Publication Date 13.01.2011
International Application No. PCT/JP2010/060433
International Filing Date 21.06.2010
IPC
G01B 11/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
G01B 9/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers
CPC
G01B 11/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
G01B 11/27
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
26for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
27for testing the alignment of axes
G01B 2290/70
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2290Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
70Using polarization in the interferometer
G01B 9/02061
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02056Passive error reduction, i.e. not varying during measurement, e.g. by constructional details of optics
02061Reducing or preventing effect of tilt or misalignment, e.g. of object or reference mirror
Applicants
  • 太陽誘電株式会社 TAIYO YUDEN CO.,LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 池田 正人 IKEDA, Masato [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小山 勝弘 OYAMA, Katsuhiro [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventors
  • 池田 正人 IKEDA, Masato
  • 小山 勝弘 OYAMA, Katsuhiro
Priority Data
2009-16153108.07.2009JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) DISPLACEMENT MEASUREMENT DEVICE USING OPTICAL INTERFEROMETER
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DES DÉPLACEMENTS PAR UTILISATION D'UN INTERFÉROMÈTRE OPTIQUE
(JA) 光干渉計を用いた変位計測装置
Abstract
(EN)
A displacement measurement device enabling prevention of fine interference fringes even if a movable section is inclined. The displacement measurement device (1) comprises a first base (2) and a second base (3) provided movably with respect to the first base (2). The first base (2) is provided with a light source (4), a beam splitter (5) for splitting the light beam emitted from the light source (4) into a measurement light beam and a reference light beam, a third reflecting plate (8) for reflecting the reference light beam from the beam splitter (5) toward a first reflecting plate (6), a photodetector (9) for detecting the interference light beam of the reference light beam reflected at the first reflecting plate (6) and the measurement light beam reflected at a second reflecting plate (7), and a λ/4 wavelength plate (10). The first reflecting plate (6) the reflecting surface of which is disposed parallel to the reflecting surface of the second reflecting plate (7) and the second reflecting plate (7) for reflecting the measurement light beam from the beam splitter (5) are provided to the second base (3).
(FR)
L'invention porte sur un dispositif de mesure des déplacements, qui permet d'empêcher des franges d'interférence fines, même si une section mobile est inclinée. Le dispositif de mesure des déplacements (1) comprend une première base (2) et une deuxième base (3), pouvant se déplacer par rapport à la première base (2). La première base (2) comporte une source de lumière (4), un diviseur de faisceau (5) destiné à diviser le faisceau lumineux émis par la source de lumière (4) en un faisceau de lumière de mesure et un faisceau de lumière de référence, une troisième plaque réfléchissante (8) destinée à réfléchir le faisceau de lumière de référence provenant du diviseur de faisceau (5) vers une première plaque réfléchissante (6), un photodétecteur (9) destiné à détecter le faisceau de lumière d'interférence du faisceau de lumière de référence réfléchi au niveau de la première plaque réfléchissante (6) et du faisceau de lumière de mesure réfléchi au niveau d'une deuxième plaque réfléchissante (7), et une plaque quart d'onde λ/4 (10). La première plaque réfléchissante (6), dont la surface réfléchissante est disposée parallèlement à la surface réfléchissante de la deuxième plaque réfléchissante (7), et la deuxième plaque réfléchissante (7), destinée à réfléchir le faisceau de lumière de mesure provenant du diviseur de faisceau (5), sont disposées sur la deuxième base (3).
(JA)
【課題】 可動部に傾きが生じても、細かい干渉縞の発生を防止することが可能な変位計測装置を提案する。【解決手段】 変位計測装置1は、第一のベース2と、第一のベース2に対して可動に設置された第二のベース3と、を有している。第一のベース2には、光源4と、光源4から照射される光を測定光と基準光とに分岐するビームスプリッタ5と、ビームスプリッタ5からの基準光を第一の反射板6の方に向けて反射する第三の反射板8と、第一の反射板6で反射された基準光と第二の反射板7で反射された測定光との干渉光を検出する光検出器9およびλ/4波長板10が設けられている。第二のベース3には、反射面が第二の反射板7の反射面と平行に設置されている第一の反射板6およびビームスプリッタ5からの測定光を反射する第二の反射板7が設けられている。
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