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1. (WO2010151810) METHOD FOR DISCRIMINATION OF BACKSCATTERED FROM INCOMING ELECTRONS IN IMAGING ELECTRON DETECTORS WITH A THIN ELECTRON-SENSITIVE LAYER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/151810    International Application No.:    PCT/US2010/040055
Publication Date: 29.12.2010 International Filing Date: 25.06.2010
IPC:
H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/26 (2006.01), G01T 1/00 (2006.01)
Applicants: GATAN, INC. [US/US]; 780 Commonwealth Drive Warrendale, Pennsylvania 15086 (US) (For All Designated States Except US).
MOONEY, Paul [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: MOONEY, Paul; (US)
Agent: TINARI, Nicholas M.; Caesar, Rivise, Bernstein, Cohen & Pokotilow 11th Floor, Seven Penn Center 1635 Market Street Philadelphia, Pennsylvania 19103-2212 (US)
Priority Data:
61/220,996 26.06.2009 US
Title (EN) METHOD FOR DISCRIMINATION OF BACKSCATTERED FROM INCOMING ELECTRONS IN IMAGING ELECTRON DETECTORS WITH A THIN ELECTRON-SENSITIVE LAYER
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT DE DISTINGUER LES ÉLECTRONS RÉTRODIFFUSÉS DES ÉLECTRONS ENTRANTS DANS DES DÉTECTEURS D'ÉLECTRONS IMAGEURS DOTÉS D'UNE COUCHE MINCE SENSIBLE AUX ÉLECTRONS
Abstract: front page image
(EN)Methods are disclosed for operating a device having a high energy particle detector wherein the particles create first incoming traversal events, outgoing backscatter events, higher-order in and out events and incoming events caused by particles which backscatter out of the device, hit nearby mechanical structures and are scattered back into the device. Exemplary method steps include discriminating incoming traversal events from outgoing backscatter events, higher-order in and out events and incoming events by limiting dose rate to a level at ensures that separate events do not overlap and discriminating events from background and from other events based on total energy in each event; discriminating backscatter events from incoming traversal events based on electron path shape; or determining that a first event and a second event are coincident with each other and separating incoming form backscatter events based on electron path shape and energy level.
(FR)La présente invention a trait à des procédés permettant de faire fonctionner un dispositif doté d'un détecteur de particules d'énergie élevée dans lequel les particules créent des premiers événements transversaux entrants, des événements de rétrodiffusion sortants, des événements d'entrée et de sortie d'ordre supérieur et des événements entrants causés par les particules qui sont rétrodiffusées hors du dispositif, heurtent les structures mécaniques à proximité et sont de nouveau diffusées vers le dispositif. A titre d'exemple, le procédé peut comprendre les étapes consistant à distinguer les événements transversaux entrants des événements de rétrodiffusion sortants, des événements d'entrée et de sortie d'ordre supérieur et des événements entrants en limitant le débit de dosage à un niveau qui permet de garantir que les événements distincts ne se chevauchent pas, et à distinguer les événements de l'arrière-plan des autres événements sur la base de l'énergie totale dans chaque événement ; à distinguer les événements de rétrodiffusion des événements transversaux entrants sur la base de la forme de trajectoire des électrons ; ou à déterminer qu'un premier événement et un second événement coïncident l'un avec l'autre et à séparer les événements de rétrodiffusion entrants sur la base de la forme de trajectoire des électrons et du niveau d'énergie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)