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1. (WO2010151123) ILLUMINATION SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/151123    International Application No.:    PCT/NL2010/050386
Publication Date: 29.12.2010 International Filing Date: 22.06.2010
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST- NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO [NL/NL]; Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft (NL) (For All Designated States Except US).
JAMAR, Jacobus Hubertus Theodoor [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: JAMAR, Jacobus Hubertus Theodoor; (NL)
Agent: HATZMANN, M.J.; Vereenigde Johan de Wittlaan 7 NL-2517 JR Den Haag (NL)
Priority Data:
09163416.2 22.06.2009 EP
Title (EN) ILLUMINATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE
Abstract: front page image
(EN)A method for patterning a substrate (5), the method comprising: illuminating a predetermined area by means of an illumination system (20) that comprises an array of light sources (21), controllable to form time-varying images, an image projection system (22) and a microlens array (7) comprising individual microlenses (8) which are arranged to provide an optical light path for the light sources, the image projection system being arranged for projecting the images onto the microlens array such that individual ones of the microlenses (8) each project radiation (18) incident thereon in the form of separate corresponding concentrated microspots (17) onto the predetermined area of the substrate (5); wherein, the array of light sources (21) is statically arranged along an arc segment having a radius and the microlenses (8) are circumferentially arranged on the microlens array on a perimeter corresponding to the arc segment, and wherein the microlens array (7) is controlled to perform a rotating movement (9) which is parallel to said straight plane, relative to at least part of the image projection system (22) and relative to the substrate (5), while synchronously the array of light sources (21) is controlled to form the time-varying images, in such way that during said rotating movement (9) of the microlens array (7) the microspots (17) describe an arc pattern on a predetermined area of the substrate (5).
(FR)L'invention porte sur un procédé de formation de motifs sur un substrat (5), le procédé comportant : l'éclairage d'une zone prédéterminée au moyen d'un système d'éclairage (20) qui comporte un réseau de sources de lumière (21), pouvant être commandées pour former des images variant dans le temps, un système de projection d'image (22) et un réseau de microlentilles (7) comportant des microlentilles individuelles (8) qui sont agencées pour fournir un trajet de lumière optique aux sources de lumière, le système de projection d'image étant agencé pour projeter les images sur le réseau de microlentilles de telle sorte que les microlentilles individuelles parmi les microlentilles (8) projettent chacune un rayonnement (18) incident sur celles-ci sous la forme de micropoints concentrés correspondants, séparés (17) sur la zone prédéterminée du substrat (5) ; le réseau de sources de lumière (21) étant statiquement agencé le long d'un segment arqué ayant un rayon, et les microlentilles (8) sont agencés de manière périphérique sur le réseau de microlentilles sur un périmètre correspondant au segment arqué, et le réseau de microlentilles (7) étant commandé pour effectuer un mouvement de rotation (9) qui est parallèle audit plan rectiligne, par rapport à au moins une partie du système de projection d'image (22) et par rapport au substrat (5), pendant que le réseau de sources de lumière (21) est commandé de façon synchrone pour former les images variant dans le temps, de telle sorte que, pendant ledit mouvement de rotation (9) du réseau de microlentilles (7), les micropoints (17) décrivent un motif arqué sur une zone prédéterminée du substrat (5).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)