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Pub. No.:    WO/2010/150709    International Application No.:    PCT/JP2010/060368
Publication Date: 29.12.2010 International Filing Date: 18.06.2010
G01N 21/952 (2006.01)
Applicants: SHOWA DENKO K. K. [JP/JP]; 13-9, Shiba Daimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518 (JP) (For All Designated States Except US).
WAKATAKE Katsunori [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAKAHASHI Hiroyasu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: WAKATAKE Katsunori; (JP).
TAKAHASHI Hiroyasu; (JP)
Agent: SHIMIZU Yoshihito; Idemitsu Nagahori Building 4-26, Minamisemba 3-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 5420081 (JP)
Priority Data:
2009-148191 23.06.2009 JP
(JA) 円筒体の表面検査装置
Abstract: front page image
(EN)A surface inspection device for a cylindrical body, provided with: an illumination light source (11) disposed above a cylindrical body (W); a beam splitter (13) disposed above the cylindrical body (W) so as to correspond to the illumination light source (11); and a surface condition recognition means (2) disposed above the beam splitter (13). Illumination light (L) emitted from the illumination light source (11) is reflected by the beam splitter (13) and applied coaxially to the surface of the cylindrical body, and the reflected light (Lr) reflected by the surface of the cylindrical body transmits through the beam splitter (13) and is recognized by the surface condition recognition means (2). The device is configured so that the illumination light (L) from the illumination light source (11) is applied from one end side of the cylindrical body (W) in the axis direction (X) toward the other end side so as to be parallel to the axis direction (X). The device can detect, among streak-like surface irregularities, only a defective streak-like surface irregularity.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'inspection de surface pour un corps cylindrique, qui est muni de : une source lumineuse d'illumination (11) placée au-dessus d'un corps cylindrique (W) ; un séparateur de faisceau (13) placé au-dessus du corps cylindrique (W) de façon à correspondre à la source lumineuse d'illumination (11) ; et un moyen de reconnaissance d'état de surface (2) placé au-dessus du séparateur de faisceau (13). La lumière d'illumination (L) émise par la source lumineuse d'illumination (11) est réfléchie par le séparateur de faisceau (13) et appliquée coaxialement à la surface du corps cylindrique, et la lumière réfléchie (Lr) par la surface du corps cylindrique se transmet par le séparateur de faisceau (13) et est reconnue par le moyen de reconnaissance d'état de surface (2). Le dispositif est conçu de façon à ce que la lumière d'illumination (L) issue de la source lumineuse d'illumination (11) soit appliquée depuis une extrémité du corps cylindrique (W) dans la direction de l'axe (X) vers l'autre extrémité de façon à être parallèle à la direction de l'axe (X). Le dispositif est capable de détecter, parmi des irrégularités de surface de type strie, uniquement une irrégularité de surface de type strie défectueuse.
(JA) 本発明は、円筒体Wの上方に配置される照明光源11と、円筒体Wの上方に照明光源11に対応して配置されるビームスプリッター13と、前記ビームスプリッター13の上方に配置される表面状態認識手段2と、を備え、照明光源11から照射される照明光Lが、ビームスプリッター13によって反射されて円筒体表面に同軸落射され、その円筒体表面で反射された反射光Lrがビームスプリッター13を透過して、表面状態認識手段2によって認識されるようにした円筒体の表面検査装置を対象とする。本装置は、照明光源11から照明光Lが、円筒体Wの軸心方向Xの一端側から軸心方向Xと平行に他端側に向けて照射されるようにしている。本発明の装置は、筋状凹凸部のうち欠陥となるものだけを検出できる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)