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1. (WO2010150476) ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/150476    International Application No.:    PCT/JP2010/003911
Publication Date: 29.12.2010 International Filing Date: 11.06.2010
IPC:
G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/12 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: MITSUMI ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 2-11-2, Tsurumaki, Tama-shi, Tokyo 2068567 (JP) (For All Designated States Except US).
HASEKO, Yoshihiro; (For US Only).
SUGANO, Takayuki; (For US Only)
Inventors: HASEKO, Yoshihiro; .
SUGANO, Takayuki;
Agent: WASHIDA, Kimihito; 8th Floor, Shinjuku First West Bldg., 1-23-7, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Priority Data:
2009-151323 25.06.2009 JP
Title (EN) ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION
(JA) 加速度センサ
Abstract: front page image
(EN)Provided is an acceleration sensor, which has, in the vicinity of electrode pads, an improved reliability using a wafer-level package. The acceleration sensor (100) has: a sensor section (110) composed of Al wiring (116) which connects an acceleration detecting element with the electrode pads (115a-115d) formed on a frame (111); a protection film (117) laminated on the Al wiring (116) formed on the frame (111) and the part of each of the electrode pads (115a-115d); a cap section (118) which covers the sensor section (110) and houses the sensor section (110) in a hermetically sealed space; and a bonding layer (119) which is laminated on the protection film (117) and bonds together the sensor section (110) and the cap section (118).
(FR)L'invention porte sur un capteur d'accélération qui a, au voisinage de plots d'électrode, une fiabilité accrue, par utilisation d'un boîtier sur tranche. Le capteur d'accélération (100) possède : une section formant capteur (110), composée d'un câblage en Al (116), qui relie un élément détecteur d'accélération aux plots d'électrode (115a-115d) formés sur un cadre (111); un film de protection (117), contrecollé sur le câblage en Al (116) formé sur le cadre (111) et la partie de chacun des plots d'électrode (115a-115d); une section formant capuchon (118), qui recouvre la section formant capteur (110) et reçoit la section formant capteur (110) dans un espace hermétiquement scellé; et une couche de collage (119), qui est contrecollée sur le film de protection (117) et colle l'une à l'autre la section formant capteur (110) et la section formant capuchon (118).
(JA) ウエハレベルパッケージを用いて、電極パッド近傍の信頼性を向上させることができる加速度センサを提供する。加速度センサ(100)は、加速度検出素子と枠(111)に形成された電極パッド(115a~115d)とを接続するAl配線(116)とからなるセンサ部(110)と、枠(111)上に形成されたAl配線(116)と電極パッド(115a~115d)の一部に積層される保護膜(117)と、センサ部(110)を覆って、センサ部(110)を密閉空間に収容するキャップ部(118)と、保護膜(117)上に積層され、センサ部(110)とキャップ部(118)とを接合する接着層(119)とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)