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1. (WO2010149551) METHOD FOR MEASURING A POWER COMPONENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/149551    International Application No.:    PCT/EP2010/058440
Publication Date: 29.12.2010 International Filing Date: 16.06.2010
IPC:
G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: CASCADE MICROTECH DRESDEN GMBH [DE/DE]; Suess-Strasse 1 01561 Sacka (DE) (For All Designated States Except US).
HIRSCHFELD, Botho [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KANEV, Stojan [BG/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HIRSCHFELD, Botho; (DE).
KANEV, Stojan; (DE)
Agent: LIPPERT, STACHOW & PARTNER; Krenkelstraße 3 01309 Dresden (DE)
Priority Data:
10 2009 030 043.0 22.06.2009 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR MESSUNG EINES LEISTUNGSBAUELEMENTS
(EN) METHOD FOR MEASURING A POWER COMPONENT
(FR) PROCÉDÉ POUR MESURER UN COMPOSANT DE PUISSANCE
Abstract: front page image
(DE)Es wird ein Verfahren zur Messung von Leistungsbauelementen 20 in einem Prober offenbart, welches der Prüfung und Testung solcher Bauelemente dient. Dabei wird ein Leistungsbauelement 20 durch einen Chuck 22 und zumindest eine elektrische Sonde 26 durch eine Sondenhalterung 28 gehalten und wahlweise das Leistungsbauelement 20 oder die Sonde 26 relativ zum jeweils anderen mittels einer Positionierungseinrichtung mit elektrischem Antrieb positioniert und das Leistungsbauelement 20 kontaktiert. Dabei verbleibt eine elektrische Verbindung zwischen der Sonden 26 zu einer Signaleinheit 34, mit welcher ein Leistungssignal als - Messsignal ausgesendet oder aufgenommen wird, gesperrt und erst dann freigegeben, wenn festgestellt ist, dass der Kontakt zwischen Sonde 26 und Kontaktfläche 21 hergestellt ist.
(EN)A method for measuring power components 20 in a prober is disclosed, which method is used to check and test such components. In this case, a power component 20 is held by a chuck 22 and at least one electrical probe 26 is held by a probe holder 28 and either the power component 20 or the probe 26 is positioned relative to the other using a positioning device with an electrical drive and contact is made with the power component 20. In this case, an electrical connection between the probe 26 and a signal unit 34, which is used to emit or receive a power signal as a measurement signal, remains blocked and is released only when it has been determined that contact has been established between the probe 26 and the contact area 21.
(FR)L'invention concerne un procédé pour mesurer des composants de puissance 20 dans un échantillonneur, qui sert à contrôler et à tester de tels composants. Selon l'invention, un composant de puissance 20 est maintenu par un mandrin 22 et au moins une sonde électrique 26 par un support de sonde 28 et au choix le composant de puissance 20 ou la sonde 26 est positionné(e) par rapport à l'autre au moyen d'un dispositif de positionnement avec entraînement électrique et le composant de puissance 20 est mis en contact. Lors de cette opération, il reste une liaison électrique entre la sonde 26 et une unité de signal 34, avec laquelle un signal de puissance en tant que signal de mesure est émis ou reçu, bloqué et validé seulement une fois que l'on constate que le contact entre la sonde 26 et la surface de contact 21 est établi.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)