WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2010148405) MEMS TUNABLE RESONATOR IN A CAVITY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/148405    International Application No.:    PCT/US2010/039374
Publication Date: 23.12.2010 International Filing Date: 21.06.2010
IPC:
H03H 9/46 (2006.01), H03H 9/02 (2006.01), H01P 1/219 (2006.01), H03H 7/01 (2006.01), H01P 7/06 (2006.01)
Applicants: QUALCOMM Incorporated [US/US]; ATTN: INTERNATIONAL IP ADMINISTRATION 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121 (US) (For All Designated States Except US).
PARK, Sang-June [KR/US]; (US) (For US Only)
Inventors: PARK, Sang-June; (US)
Agent: MOBARHAN, Ramin; ATTN: INTERNATIONAL IP ADMINISTRATION 5775 Morehouse Drive San Diego, Califonia 92121 (US)
Priority Data:
12/488,404 19.06.2009 US
Title (EN) MEMS TUNABLE RESONATOR IN A CAVITY
(FR) RÉSONATEURS MEMS POUVANT ÊTRE SYNTONISÉS
Abstract: front page image
(EN)Tunable MEMS resonators having adjustable resonance frequency and capable of handling large signals are described. In one exemplary design, a tunable MEMS resonator includes (i) a first part (160) having a cavity (180) and a post (170) and (ii) a second part (110) mated to the first part (160) and including a movable plate (140) located under the post (170). Each part may be covered with a metal layer (130, 190) on the surface facing the other part. The movable plate (140) may be mechanically moved by a DC voltage to vary the resonance frequency of the MEMS resonator. The cavity (180) may have a rectangular or circular shape and may be empty or filled with a dielectric material. The post (170) may be positioned in the middle of the cavity (180). The movable plate (140) may be attached to the second part (i) via an anchor (144) and operated as a cantilever or (ii) via two anchors (146, 148) and operated as a bridge.
(FR)La présente invention concerne des résonateurs MEMS pouvant être syntonisés qui possèdent une fréquence de résonance réglable et qui peuvent traiter de grands signaux. Dans un exemple de conception, ledit résonateur comprend (i) une première partie présentant une cavité et un tenon et (ii) une seconde partie couplée à la première partie et comprenant une plaque mobile située sous le tenon. Chaque partie peut être recouverte d'une couche de métal sur la surface faisant face à l'autre partie. La plaque mobile peut être déplacée mécaniquement par une tension cc pour faire varier la fréquence de résonance du résonateur MEMS. La cavité peut être de forme rectangulaire ou circulaire et peut être vide ou remplie d'un matériau diélectrique. Le tenon peut être positionné au milieu de la cavité. La plaque mobile peut être fixée à la seconde partie (i) par l'intermédiaire d'un ancrage et actionnée en porte-à-faux ou (ii) par l'intermédiaire de deux ancrages et actionnée telle un pont.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)