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1. (WO2010148343) METHODS AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUSLY INSPECTING MULTIPLE ARRAY REGIONS HAVING DIFFERENT PITCHES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/148343    International Application No.:    PCT/US2010/039238
Publication Date: 23.12.2010 International Filing Date: 18.06.2010
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 1/08 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US) (For All Designated States Except US).
CHEN, Hong [US/US]; (US) (For US Only).
LIN, Jason Z [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CHEN, Hong; (US).
LIN, Jason Z; (US)
Agent: OKAMOTO, James K; Okamoto & Benedicto LLP P.O. BOX 641330 San Jose, California 95164-1330 (US)
Priority Data:
61/218,913 19.06.2009 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR SIMULTANEOUSLY INSPECTING MULTIPLE ARRAY REGIONS HAVING DIFFERENT PITCHES
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR INSPECTER SIMULTANÉMENT DE MULTIPLES RÉGIONS DE RÉSEAU AYANT DIFFÉRENTS PAS
Abstract: front page image
(EN)One embodiment relates to a method of automatically inspecting multiple array regions (102) simultaneously using an imaging apparatus (302). The method includes selecting (211 or 212) an optimal pixel size such that each array region in the multiple array regions has a grouped cell which is an integer number of pixels in size, and adjusting a pixel size of the imaging apparatus to be the selected optimal pixel size. Optimal pixel sizes within an available range of pixel sizes may be determined by finding (202) a largest common divider of cell sizes of the multiple array regions when the cell sizes are expressed in integers. Pre-set criteria may be applied to determine (208) which, if any, of the optimal pixel sizes are acceptable based on pre-set criteria. If none of the optimal pixel sizes are acceptable, then one of the array regions may be marked for digital interpolation (see 216). Other embodiments, aspects, and features are also disclosed.
(FR)L'invention, selon un mode de réalisation, porte sur un procédé d'inspection automatique de multiples régions à réseau (102) simultanément à l'aide d'un appareil d'imagerie (302). Le procédé comprend la sélection (211 ou 212) d'une taille de pixel optimale de telle sorte que chaque région de réseau dans les multiples régions de réseau a une cellule groupée qui est un nombre entier de dimensions de pixels, et le réglage d'une dimension de pixel de l'appareil d'imagerie pour qu'elle soit égale à la dimension de pixel optimale choisie. Des dimensions de pixel optimales à l'intérieur d'une plage de dimensions de pixel disponible peuvent être déterminées par recherche (202) du plus grand diviseur commun des dimensions de cellule des multiples régions de réseau lorsque les dimensions de cellule sont exprimées en nombres entiers. Des critères préétablis peuvent être appliqués pour déterminer (208), le cas échéant, lesquelles des dimensions de pixel optimales sont acceptables en fonction des critères préétablis. Si aucune des dimensions de pixel optimales n'est acceptable, alors l'une des régions de réseau peut être marquée pour une interpolation numérique (voir 216). D'autres modes de réalisation, aspects et caractéristiques sont également décrits.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)