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1. (WO2010147470) METHOD FOR MANUFACTURING A MAINLY FILM SHAPED PIEZOELECTRIC ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/147470    International Application No.:    PCT/NL2010/050376
Publication Date: 23.12.2010 International Filing Date: 18.06.2010
IPC:
H01L 41/22 (2006.01), H01L 41/08 (2006.01)
Applicants: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST- NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO [NL/NL]; Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft (NL) (For All Designated States Except US).
VAN DEN ENDE, Daan Anton [NL/NL]; (NL) (For US Only).
GROEN, Wilhelm Albert [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: VAN DEN ENDE, Daan Anton; (NL).
GROEN, Wilhelm Albert; (NL)
Agent: HATZMANN, M.J.; Vereenigde Johan de Wittlaan 7 NL-2517 JR Den Haag (NL)
Priority Data:
09163272.9 19.06.2009 EP
Title (EN) METHOD FOR MANUFACTURING A MAINLY FILM SHAPED PIEZOELECTRIC ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE PRINCIPALEMENT EN FORME DE FILM
Abstract: front page image
(EN)A method of manufacturing a mainly film shaped piezoelectric element comprising a first set of more than one electrode and a second set of more than one electrode (1, 2) that extend mainly coplanar and alternately one another, and a layer of piezoelectric material that is connected to the electrodes, comprising: providing said first and second sets of electrodes; providing a mixture of a fluid, uncured synthetic material and piezoelectric particles; providing a layer (3) of said mixture that connects the electrodes of said first and second set of electrodes; performing a chain building sequence one or more times, the chain building sequence comprising: applying or increasing a voltage to the first and second set of electrodes so as to provide electric fields in said mixture layer between the alternating electrodes of the first and second set of electrodes respectively that cause the piezoelectric particles to spacially arrange as chains of interconnected particles between those electrodes; removing or decreasing said electric field applied to the first and second set of electrodes; the method further comprising curing the mixture layer.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un élément piézoélectrique principalement en forme de film comprenant un premier ensemble de plusieurs électrodes et un second ensemble de plusieurs électrodes (1, 2) s'étendant principalement de façon coplanaire et alternativement les unes avec les autres, et une couche de matériau piézoélectrique raccordée aux électrodes. Le procédé comprend les étapes suivantes : fourniture desdits premier et second ensembles d'électrodes ; fourniture d'un mélange de matière synthétique fluide non cuite et de particules piézoélectriques ; fourniture d'une couche (3) dudit mélange raccordant les électrodes desdits premier et second ensembles d'électrodes ; réalisation d'une séquence de construction de chaîne une ou plusieurs fois, la séquence de construction de chaîne comprenant les étapes d'application ou d'augmentation d'une tension sur le premier et le second ensemble d'électrodes de façon à fournir des champs électriques dans ladite couche de mélange entre les électrodes alternées du premier et du second ensemble d'électrodes, respectivement, de telle sorte que les particules piézoélectriques se disposent spatialement comme des chaînes de particules interconnectées entre ces électrodes, et les étapes de retrait ou de diminution dudit champ électrique appliqué au premier et au second ensemble d'électrodes. Le procédé comprend également la cuisson de la couche de mélange.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)