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1. (WO2010146818) THREE-DIMENSIONAL ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/146818    International Application No.:    PCT/JP2010/003910
Publication Date: 23.12.2010 International Filing Date: 11.06.2010
IPC:
G01P 15/12 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), G01P 21/00 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: MITSUMI ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 2-11-2, Tsurumaki, Tama-shi, Tokyo 2068567 (JP) (For All Designated States Except US).
NAGAWATARI, Minoru; (For US Only)
Inventors: NAGAWATARI, Minoru;
Agent: WASHIDA, Kimihito; 8th Floor, Shinjuku First West Bldg., 1-23-7, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Priority Data:
2009-144391 17.06.2009 JP
Title (EN) THREE-DIMENSIONAL ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION TRIDIMENSIONNEL
(JA) 3軸加速度センサ
Abstract: front page image
(EN)Acceleration detection piezo-resistance elements (x1 to x4), (y1 to y4), and (z1 to z4) in the X-axis direction, Y-axis direction, and the Z-axis direction, respectively, of a three-dimensional acceleration sensor (10) are formed in the longitudinal directions of beams (14a), (14b), (14c), and (14d), correspondingly. In addition to the above, sensitivity adjustment piezo-resistance elements (21 to 24) are formed in such directions as to intersect the longitudinal directions of beams (14a) and (14c), correspondingly, approximately at right angles. Furthermore, piezo-resistance elements (21 to 24) are electrically connected to acceleration detection piezo-resistance elements (x1 to x4), respectively.
(FR)La présente invention concerne un capteur d'accélération tridimensionnel (10), dont des éléments piézorésistifs de détection d'accélération (x1 à x4), (y1 à y4), et (z1 à z4), dans l'axe des X, l'axe des Y, et l'axe des Z, respectivement, sont formés dans des directions longitudinales de faisceaux (14a), (14b), (14c), et (14d), de façon correspondante. De plus, des éléments piézorésistifs de réglage de sensibilité (21 à 24) sont formés dans des directions permettant de couper les directions longitudinales des faisceaux (14a) et (14c) de façon correspondante, approximativement à des angles droits. En outre, les éléments piézorésistifs (21 à 24) sont électriquement connectés aux éléments piézorésistifs de détection d'accélération (x1 à x4), respectivement.
(JA) 3軸加速度センサ10のX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向の加速度検出用ピエゾ抵抗素子x1~x4,y1~y4,z1~z4は、梁14a,14b,14c,14dの長手方向に亘って形成されている。これに加えて、感度調整用ピエゾ抵抗素子21~24が、梁14a,14cの長手方向にほぼ直交する方向に亘って形成されており、感度調整用ピエゾ抵抗素子21~24は、加速度検出用ピエゾ素子x1~x4に電気的に接続されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)