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Pub. No.:    WO/2010/146773    International Application No.:    PCT/JP2010/003504
Publication Date: 23.12.2010 International Filing Date: 26.05.2010
G01Q 60/10 (2010.01), G01Q 30/02 (2010.01), G01Q 70/12 (2010.01), G01R 1/06 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
HIROOKA, Motoyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OKAI, Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HIROOKA, Motoyuki; (JP).
OKAI, Makoto; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2009-141784 15.06.2009 JP
(JA) 微小接触式プローバ
Abstract: front page image
(EN)The stress due to contact between a probe and a measurement sample is improved when using a microcontact prober having a conductive nanotube, nanowire, or nanopillar probe, the insulating layer at the contact interface is removed, thereby the contact resistance is reduced, and the performance of semiconductor device examination is improved. The microcontact prober comprises a cantilever probe in which each cantilever is provided with a nanowire, nanopillar, or a metal-coated carbon nanotube probe projecting by 50 to 100 nm from a holder provided at the fore end and a vibrating mechanism for vibrating the cantilever horizontally with respect to the subject. The fore end of the holder may project from the free end of the cantilever, and the fore end of the holder can be checked from above the cantilever.
(FR)La présente invention concerne un sondeur à microcontact, dont l'utilisation réduit les contraintes dues au contact entre une sonde et un échantillon de mesure, et qui comporte une sonde à nanotube conducteur, à nanofil conducteur, ou à nanocolonne conductrice. Le retrait de la couche isolante au niveau de l'interface de contact permet de réduire la résistance de contact, et d'améliorer la performance de l'examen du dispositif à semi-conducteur. Le sondeur à microcontact comprend une sonde à bras en porte-à-faux, chaque bras en porte-à-faux comprenant une sonde à nanofil, à nanocolonne, ou à nanotube de carbone métallisé, dépassant de 50 à 100 nm d'un support agencé sur l'extrémité frontale, et un mécanisme vibreur faisant vibrer le bras en porte-à-faux horizontalement par rapport au sujet. L'extrémité frontale du support peut dépasser de l'extrémité libre du bras en porte-à-faux, et peut être ainsi vérifiée par dessus le bras en porte-à-faux.
(JA) 導電性のナノチューブやナノワイヤ、またはナノピラー探針を搭載した微小接触式プローバにおける探針-測定サンプル間の接触応力を向上し、かつ接触界面の絶縁層を除去することで、接触抵抗を低減し、半導体デバイス検査の性能を向上することにある。 微小接触式プローバにおいて、カンチレバー型のプローブを有し、カンチレバーは先端に設置されたホルダーより長さ50~100nmで突出したナノワイヤやナノピラー、または金属被覆のカーボンナノチューブ探針と、各カンチレバーを被検体に対して水平方向に振動させるための加振機構を設置する。ホルダーの先端部は前記カンチレバーの自由端よりも突出してよく、カンチレバー上部よりホルダー先端を確認することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)