WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2010140814) WAFER PROBE STATION CAPABLE OF ACTIVELY CONTROLLING TILT OF CHUCK AND CONTROLLING METHOD THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/140814    International Application No.:    PCT/KR2010/003500
Publication Date: 09.12.2010 International Filing Date: 01.06.2010
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: SEMICS INC. [KR/KR]; C-803 Bundang Technopark, 145 Yatap-dong, Bundang-gu, Seongnam-si Gyeonggi-do 463-760 (KR) (For All Designated States Except US).
YANG, Hong-Jun [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: YANG, Hong-Jun; (KR)
Agent: LEE, Ji-Yeon; Suite 301 Chungdong Building 1659-2 Inhundong Gwanak-gu Seoul 151-832 (KR)
Priority Data:
10-2009-0049047 03.06.2009 KR
10-2009-0105304 03.11.2009 KR
Title (EN) WAFER PROBE STATION CAPABLE OF ACTIVELY CONTROLLING TILT OF CHUCK AND CONTROLLING METHOD THEREOF
(FR) STATION D'ESSAI DE PLAQUETTES ASSURANT UNE VÉRIFICATION ACTIVE DE L'INCLINAISON DU SUPPORT, ET PROCÉDÉ DE COMMANDE ASSOCIÉ
(KO) 척의 능동적 기울기 제어가 가능한 웨이퍼 프로브 스테이션 및 그 제어방법
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a wafer probe station. The wafer probe station comprises a plurality of pressure sensors, a tilt calibration device, and a control device. The tilt calibration device includes a plurality of actuators, a plurality of displacement sensors respectively installed at the corresponding positions adjacent to each actuator, and a microcomputer. The control device: extracts from the pressure sensors the pressure values for each installation position after contacting a wafer with a probe card by elevating a z-axis stage up to a preset over-driving amount; calculates the driving amount for each actuator of the tilt calibration device by using the pressure values to apply uniform weight to a chuck; calculates a displacement value (w) generated in X and Y directions depending on the variation in the tilt of the chuck; calibrates an eccentric weight of the chuck by driving each actuator of the tilt calibration device according to the driving amount after lowering the Z-axis stage; and controls the movement of an X-Y-axes stage by using the displacement value (w) generated in the X and Y directions. Therefore, the invention can accurately detect the eccentric weight generated while performing an over-driving operation and control a tilt of the chuck by using the sensed weight so that the initial setup in preparation for the eccentric weight may be rapidly and accurately performed. As a result, the invention is able to reduce the lead time in an inspection process.
(FR)La présente invention concerne une station d'essai de plaquettes. La station d'essai de plaquettes comprend une pluralité de capteurs de pression, un dispositif de calibrage d'inclinaison et un dispositif de commande. Le dispositif de calibrage d'inclinaison comprend une pluralité d'actionneurs, une pluralité de capteurs de déplacement montés respectivement en des emplacements correspondants adjacents à chaque actionneur, et un micro-ordinateur. Le dispositif de commande : extrait des capteurs de pression les valeurs de pression pour chaque emplacement de montage après mise en contact d'une plaquette avec une carte sonde par élévation d'un étage axe z jusqu'à une valeur de sur-entraînement prédéterminée; calcule la valeur d'entraînement pour chaque actionneur du dispositif de calibrage d'inclinaison au moyen des valeurs de pression pour appliquer un poids uniforme à un support; calcule une valeur de déplacement (w) produite dans les directions X et Y en fonction de la variation de l'inclinaison du support; calibre un poids excentré du support par entraînement de chaque actionneur du dispositif de calibrage d'inclinaison selon la valeur d'entraînement après abaissement de l'étage axe z; et commande le mouvement d'un étage axes X-Y au moyen de la valeur de déplacement (w) produite dans les directions X et Y. Ainsi, l'invention permet de détecter avec précision le poids excentré produit lors de l'exécution d'une opération de sur-entraînement et de commander l'inclinaison du support au moyen du poids détecté de sorte que le réglage initial lors de la préparation pour le poids excentré peut être réalisé rapidement et avec précision. En conséquence, l'invention permet de réduire le temps d'exécution du processus d'inspection.
(KO)본 발명은 웨이퍼프로브스테이션에 관한 것이다. 상기 웨이퍼프로브스테이션은, 다수개의 압력센서; 다수 개의 액추에이터, 각 액추에이터에 인접하게 대응되는 위치에 각각 설치되는 다수 개의 변위 센서 및 마이컴으로 이루어지는 기울기 보정 장치; 및 사전에 설정된 오버 드라이빙 량만큼 Z축 스테이지를 상승시켜 웨이퍼와 프로버 카드를 접촉시킨 후, 상기 압력 센서들로부터 각 설치 위치에 대한 압력값들을 추출하고, 척에 균일한 하중이 인가되도록 상기 압력값들을 이용하여 상기 기울기 보정 장치의 각 액추에이터에 대한 구동량을 계산하고, 척의 기울기 변화에 따라 x방향 및 y 방향으로 발생하는 변위값(w)을 계산하고, 상기 Z축 스테이지를 하강시킨 후 상기 구동량에 따라 상기 기울기 보정 장치의 각 액추에이터를 구동시켜 척의 편심하중을 보정하고, 상기 x 방향 및 y 방향으로 발생하는 변위값(w)을 이용하여 XY 축 스테이지의 이동을 제어하는 제어 장치;를 구비한다. 이에 의해, 본 발명은 오버드라이빙 수행시 발생하는 편심하중을 정확하게 감지하고, 이를 이용하여 척의 기울기를 조정함으로써, 편심하중에 대비한 초기설정을 신속하고 정확하게 할 수 있어, 검사공정의 리드타임을 줄일 수 있다.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)