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Pub. No.:    WO/2010/140574    International Application No.:    PCT/JP2010/059231
Publication Date: 09.12.2010 International Filing Date: 01.06.2010
G01P 15/125 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: ALPS ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501 (JP) (For All Designated States Except US).
OHKAWA, Hisanobu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KIKUIRI, Katsuya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YAZAWA, Hisayuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAKAHASHI, Toru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MIYATAKE, Akira [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OHKAWA, Hisanobu; (JP).
KIKUIRI, Katsuya; (JP).
YAZAWA, Hisayuki; (JP).
Agent: NOZAKI, Teruo; Oak Ikebukuro Building 3F, 1-21-11 Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Priority Data:
2009-133981 03.06.2009 JP
2009-199145 31.08.2009 JP
(JA) 物理量センサ
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is a physical quantity sensor wherein the movable electrode has a wide area, the rigidity of the movable section can be heightened, and the vibration in the directions other than the detection direction can be effectively minimized. The physical quantity sensor comprises anchor sections (41, 42) secured and supported, a movable section (51) displacing in the height direction, multiple support sections (44, 46, 48, 50) swingably coupled to the anchor sections (41, 42) and the movable section (51), a sensing section for sensing the displacement of the movable section (51), and multiple spring sections (43, 45, 47, 49, 52 to 55) interposed between the support sections and the anchor sections and between the support sections and the movable section. The movable section (51) is configured so as to have an inner movable section (51a) coupled to the insides of the support sections through first spring sections (52 to 55) and an outer movable section (51b) integrated with the inner movable section (51a) and disposed outside the support sections.
(FR)La présente invention concerne un détecteur de quantités physiques. Dans ledit détecteur, l'électrode mobile comporte une zone large, la rigidité de la section mobile peut être augmentée et la vibration dans les directions autres que la direction de détection peut être efficacement réduite. Le détecteur de quantités physiques comprend des sections ancrage (41, 42) fixées et soutenues, une section mobile (51) se déplaçant dans le sens de la hauteur, de multiples sections support (44, 46, 48, 50) accouplées oscillantes aux sections ancrage (41, 42) et à la section mobile (51), une section détection permettant de détecter le déplacement de la section mobile (51), et de multiples sections ressort (43, 45, 47, 49, 52 à 55) intercalées entre les sections support et les sections ancrage, et entre les sections support et la section mobile. La section mobile (51) est conçue de façon à comporter une section mobile interne (51a) accouplée aux parties intérieures des sections support par l'intermédiaire des premières sections ressort (52 à 55) et une section mobile (51b) solidaire de la section mobile interne (51a) et disposée à l'extérieur des sections support.
(JA)【課題】 特に、可動電極の面積を広くでき、可動部の剛性を高めることができ、更には検出方向以外の振動を効果的に抑制することが可能な物理量センサを提供することを目的としている。 【解決手段】 固定支持されるアンカ部41,42と、高さ方向に変位する可動部51と、前記アンカ部41,42と前記可動部51とに回動自在に連結された複数本の支持部44,46,48,50と、前記可動部51の変位を検知するための検知部と、前記支持部と前記アンカ部との間、及び前記支持部と前記可動部の間に介在する複数本のばね部43,45,47,49,52~55と、を有している。前記可動部51は、各支持部の内側にて第1ばね部52~55を介して連結される内側可動部51aと、前記内側可動部51aと一体となり前記支持部の外側に位置する外側可動部51bとを有して構成される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)