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1. (WO2010140478) TRANSFER MODULE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/140478    International Application No.:    PCT/JP2010/058497
Publication Date: 09.12.2010 International Filing Date: 20.05.2010
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
HIROKI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HIROKI, Tsutomu; (JP)
Agent: SHIOJIMA, Toshiyuki; Floral Akihabara bldg. 7F. 2-12, Kandasakumacho Chiyoda-ku, Tokyo 1010025 (JP)
Priority Data:
2009-134496 03.06.2009 JP
(JA) 搬送モジュール
Abstract: front page image
(EN)Provided is a transfer module wherein the rigidity of a transfer chamber is improved. A transfer chamber (14) inside of which is subjected to a vacuum is provided with a cover (22) such that the cover can be opened and closed. A robot (12) is mounted inside of the transfer chamber (14). The robot (12) has hollow rotating shafts (36, 37) on a part of a mechanism that transfers a subject (W) to be processed. A column (28) which supports the cover (22) in the closed state is disposed inside of the hollow rotating shafts (36, 37) of the robot (12). Since a load that operates to the cover (22) due to the atmosphere is loaded on the column (28), the thickness of the cover (22) can be reduced and the manufacture cost can be reduced. Furthermore, the column (28) does not disturb the robot when the robot rotates the subject (W) about the rotating shafts (36, 37) and moves the subject in the radiation direction.
(FR)L'invention porte sur un module de transfert dans lequel la rigidité d'une chambre de transfert est améliorée. Une chambre de transfert (14) dont l'intérieur est mis sous vide est munie d'un couvercle (22) de telle manière que le couvercle peut être ouvert et fermé. Un robot (12) est monté à l'intérieur de la chambre de transfert (14). Le robot (12) comprend des arbres rotatifs creux (36, 37) sur une partie d'un mécanisme qui transfère un sujet (W) devant être traité. Une colonne (28) qui supporte le couvercle (22) dans l'état fermé est agencée à l'intérieur des arbres rotatifs creux (36, 37) du robot (12). Etant donné qu'une charge qui s'exerce sur le couvercle (22) en raison de l'atmosphère est transférée à la colonne (28), l'épaisseur du couvercle (22) peut être réduite et le coût de fabrication peut être réduit. En outre, la colonne (28) ne perturbe pas le robot lorsque le robot fait tourner le sujet (W) autour des arbres rotatifs (36, 37) et déplace le sujet dans la direction de rayonnement.
(JA) 搬送室の剛性を高くすることができる搬送モジュールを提供する。内部を真空にすることが可能な搬送室(14)に開閉可能に蓋(22)を設ける。搬送室(14)内にロボット(12)を搭載する。ロボット(12)は、被処理体(W)を搬送する機構の一部に中空の回転軸(36,37)を有する。ロボット(12)の中空の回転軸(36,37)内には、閉じた状態の蓋(22)を支える柱(28)が配置される。大気圧によって蓋(22)に作用する荷重を柱(28)が負荷するので、蓋(22)の肉厚を薄くすることができ、製造コストの削減を図れる。しかも、ロボットが被処理体(W)を回転軸(36,37)の回りを旋回させたり、放射方向に移動させたりする際、柱(28)が邪魔になることもない。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)