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1. (WO2010138900) LASER PROCESSING SYSTEMS USING THROUGH-THE-LENS ALIGNMENT OF A LASER BEAM WITH A TARGET FEATURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/138900    International Application No.:    PCT/US2010/036707
Publication Date: 02.12.2010 International Filing Date: 28.05.2010
IPC:
H01S 3/10 (2006.01), H01S 3/101 (2006.01)
Applicants: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 NW Science Park Drive Portland, Oregon 97229-5497 (US) (For All Designated States Except US).
UNRATH, Mark A. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: UNRATH, Mark A.; (US)
Agent: BARKER, Aaron D.; STOEL RIVES LLP 201 S. Main Street, Suite 1100 Salt Lake City, Utah 84111 (US)
Priority Data:
61/181,889 28.05.2009 US
Title (EN) LASER PROCESSING SYSTEMS USING THROUGH-THE-LENS ALIGNMENT OF A LASER BEAM WITH A TARGET FEATURE
(FR) SYSTÈMES DE TRAITEMENT LASER UTILISANT L'ALIGNEMENT PAR MESURE TTL D'UN FAISCEAU LASER AVEC UN ÉLÉMENT CIBLE
Abstract: front page image
(EN)A laser processing system for micromachining a workpiece includes a laser source to generate laser pulses for processing a feature in a workpiece, a galvanometer-driven (galvo) subsystem to impart a first relative movement of a laser beam spot position along a processing trajectory with respect to the surface of the workpiece, and an acousto-optic deflector (AOD) subsystem. The AOD subsystem may include a combination of AODs and electro-optic deflectors. The AOD subsystem may vary an intensity profile of laser pulses as a function of deflection position along a dither direction. The AOD subsystem may be used for aligning a processing laser beam to workpiece features.
(FR)La présente invention concerne un système de traitement laser pour micro-usiner une pièce à usiner, comprenant une source laser générant des impulsions laser pour traiter un élément dans une pièce à usiner, un sous-système commandé par galvanomètre (galvo) pour communiquer un premier mouvement relatif d'une position de point de faisceau laser le long d'une trajectoire de traitement par rapport à la surface de la pièce à usiner, et un sous-système de déflecteur acousto-optique (AOD). Le sous-système de déflecteur acousto-optique peut comprendre une combinaison de déflecteurs acousto-optiques et électro-optiques. Le sous-système de déflecteur acousto-optique peut faire varier un profil d'intensité d'impulsions laser en fonction de la position de déviation le long d'une direction de superposition. Le sous-système de déflecteur acousto-optique peut servir à aligner un faisceau laser de traitement sur les éléments de la pièce à usiner.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)