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1. (WO2010138312) METHOD AND APPARATUS FOR PHOTOIMAGING A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/138312    International Application No.:    PCT/US2010/034707
Publication Date: 02.12.2010 International Filing Date: 13.05.2010
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY [US/US]; 3M Center Post Office Box 33427 Saint Paul, Minnesota 55133-3427 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: THEIS, Daniel, J.,; (US).
BIYIKLI, Levent,; (US).
TOKIE, Jeffrey, H.,; (US).
HOFELDT, David, L.,; (US)
Agent: GOVER, Melanie, G.,; 3M Center Office of Intellectual Property Counsel Post Office Box 33427 Saint Paul, Minnesota 55133-3427 (US)
Priority Data:
12/472,618 27.05.2009 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PHOTOIMAGING A SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR LA PHOTO-IMAGERIE D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)A method includes providing a substrate having a layer of photosensitive material thereon and a mask having contiguous first, second, and third portions; and sequentially: i) scanning the first portion with a light beam at a first rate and subsequently impinges on the photosensitive material at an exposure zone; ii) fixing the scanning within the second portion; and iii) resuming scanning through the third portion. Throughout the process the substrate moves through the exposure zone. An apparatus for carrying out the process includes a light beam source, a mask mount, a mask stage, a conveyor assembly, and at least one optical element for manipulating the light beam into a rectangular light beam.
(FR)L'invention porte sur un procédé qui comprend la disposition d'un substrat ayant une couche de matériau photosensible sur celui-ci et un masque ayant des première, deuxième et troisième parties contiguës ; et en séquence : i) le balayage de la première partie par un faisceau de lumière à une première fréquence et qui frappe ultérieurement le matériau photosensible en une zone d'exposition ; ii) la fixation du balayage à l'intérieur de la seconde partie ; iii) le redémarrage de balayage à travers la troisième partie. Tout au long du procédé, le substrat se déplace à travers la zone d'exposition. Un appareil pour mettre en œuvre le procédé comprend une source de faisceau de lumière, un montage de masque, une platine de masque, un ensemble transporteur et au moins un élément optique pour manipuler le faisceau de lumière en un faisceau de lumière rectangulaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)