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1. (WO2010137625) TARGET OUTPUT DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/137625    International Application No.:    PCT/JP2010/058929
Publication Date: 02.12.2010 International Filing Date: 26.05.2010
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 2-6-1, Otemachi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP) (For All Designated States Except US).
ISHIHARA Takanobu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SASAKI Youichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAKIZAKI Kouji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
INOUE Masahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YABU Takayuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HOSHINO Hideo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: ISHIHARA Takanobu; (JP).
SASAKI Youichi; (JP).
KAKIZAKI Kouji; (JP).
INOUE Masahiro; (JP).
YABU Takayuki; (JP).
HOSHINO Hideo; (JP)
Agent: SAKAI Hiroaki; Sakai International Patent Office, Kasumigaseki Building, 2-5, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006020 (JP)
Priority Data:
2009-128192 27.05.2009 JP
2009-173882 27.07.2009 JP
2010-016659 28.01.2010 JP
Title (EN) TARGET OUTPUT DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SORTIE DE CIBLE ET DISPOSITIF À SOURCE DE LUMIÈRE DANS L'ULTRAVIOLET EXTRÊME
(JA) ターゲット出力装置及び極端紫外光源装置
Abstract: front page image
(EN)Provided are a target output device that ejects droplets with a small diameter at high speed and an extreme ultraviolet light source device. The target output device comprises: a main body for housing a target material; a nozzle portion for outputting the target material; an electrode portion facing the nozzle portion; a voltage control unit for applying a predetermined voltage between the electrode portion and the target material and generating an electrostatic force for extracting the target material from the nozzle portion; a pressure control unit for applying a pressure to the target material; and an output control unit for controlling the signal output timings of a first timing signal at which the voltage is applied by the voltage control unit and a second timing signal at which the pressure is applied by the pressure control unit.
(FR)L'invention propose un dispositif de fourniture de cible qui éjecte à haute vitesse des gouttes de petit diamètre, et un dispositif à source de lumière dans l'ultraviolet extrême. Le dispositif de sortie de cible comprend : un corps principal qui loge un matériau de cible, une partie en ajutage qui délivre le matériau de cible, une partie formant électrode située face à la partie en ajutage, une unité de contrôle de tension qui applique une tension prédéterminée entre la partie formant électrode et le matériau de cible et qui exerce une force électrostatique qui extrait le matériau de cible de la partie en ajutage, une unité de contrôle de pression qui applique une pression sur le matériau de cible et une unité de contrôle de sortie qui contrôle les cadences de sortie de signal d'un premier signal de cadençage pendant lequel la tension est appliquée par l'unité de contrôle de tension et d'un deuxième signal de cadençage pendant lequel la pression est appliquée par l'unité de contrôle de pression.
(JA) 小径のドロップレットを高速に射出させるターゲット出力装置及び極端紫外光源装置を提供する。 ターゲット材料を収容する本体部と、ターゲット材料を出力するノズル部と、ノズル部に対向した電極部と、電極部とターゲット材料との間に所定の電圧を印加してターゲット材料をノズル部から引き出す静電気力を発生させる電圧制御部と、ターゲット材料に圧力を加える圧力制御部と、電圧制御部により電圧を印加させる第1タイミング信号と、圧力制御部により圧力を加えさせる第2タイミング信号との、信号出力タイミングを制御する出力制御部を具備する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)