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Pub. No.:    WO/2010/137556    International Application No.:    PCT/JP2010/058745
Publication Date: 02.12.2010 International Filing Date: 24.05.2010
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: RORZE CORPORATION [JP/JP]; 1588-2, Aza Michinoue, Kannabe-cho, Fukuyama-shi, Hiroshima 7202104 (JP) (For All Designated States Except US).
SAKATA Katsunori [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OKUTSU Hidekazu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SAKATA Katsunori; (JP).
OKUTSU Hidekazu; (JP)
Agent: EMURA Yoshihiko; Sonderhoff & Einsel Law and Patent Office, Shin-Marunouchi Center Building, 6-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2009-127479 27.05.2009 JP
(JA) 雰囲気置換装置
Abstract: front page image
(EN)An improved atmosphere replacement device configured to purge a FOUP type container by means of a purge gas. An atmosphere replacement device is provided with a non-nozzle type purge plate designed in such a manner that a laminar purge gas flow flows out of an outflow surface. The purge plate can be moved between a standby position and an operation position by a purge plate drive mechanism. During purging, the purge plate is placed at the operation position and, while facing the open surface, purges a FOUP type container by causing the laminar purge gas to flow out of the purge plate into the inside of the open surface of the FOUP type container.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de remplacement d'atmosphère amélioré configuré de façon à purger un conteneur de type FOUP au moyen d'un gaz de purge. Un dispositif de remplacement d'atmosphère selon l'invention comprend une plaque de purge du type sans buse qui est configuré de telle manière qu'un écoulement de gaz de purge laminaire s'écoule hors d'une surface d'écoulement en sortie. La plaque de purge peut être déplacée entre une position d'attente et une position de fonctionnement par un mécanisme d'entraînement de plaque de purge. Durant la purge, la plaque de purge est placée à la position de fonctionnement et, dirigée vers la surface ouverte, elle purge un conteneur de type FOUP en amenant l'écoulement de gaz de purge laminaire à s'écouler hors de la plaque de purge et à l'intérieur de la surface ouverte du conteneur de type FOUP.
(JA)FOUP型容器をパージガスでパージする改良された雰囲気置換装置を提供する。 雰囲気置換装置は、流出面から層流のパージガスを流出するように設計された非ノズル型パージプレートを備える。パージプレート駆動機構によって、パージプレートは待機位置と作動位置との間で移動可能である。パージ期間中、パージプレートはこの作動位置におかれ、FOUP型容器の開放面に対面する姿勢で、開放面の内部に層流のパージガスを流出して容器をパージする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)