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1. (WO2010136568) DEVICE AND METHOD FOR STACKING OR TRANSPORTING A PLURALITY OF FLAT SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/136568    International Application No.:    PCT/EP2010/057428
Publication Date: 02.12.2010 International Filing Date: 28.05.2010
IPC:
B28D 5/00 (2006.01), B65G 59/02 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: SCHMID TECHNOLOGY SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Johann-Liesenbergerstrasse 7 78078 Niedereschach (DE) (For All Designated States Except US).
GREBER, Reiner [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STRUGAR, Marijan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHULTZE, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: GREBER, Reiner; (DE).
STRUGAR, Marijan; (DE).
SCHULTZE, Thomas; (DE)
Agent: RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER; Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart (DE)
Priority Data:
102009024239.2 29.05.2009 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM STAPELN BZW. TRANSPORT EINER VIELZAHL VON FLACHEN SUBSTRATEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR STACKING OR TRANSPORTING A PLURALITY OF FLAT SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'EMPILEMENT OU DE TRANSPORT DE PLUSIEURS SUBSTRATS PLATS
Abstract: front page image
(DE)Eine Vorrichtung zum Stapeln einer Vielzahl von Siliziumwafem weist einen aufrecht stehenden Maschinencarrier auf zur Aufnahme einer Vielzahl der Siliziumwafer, wobei die Siliziumwafer in dem Maschinencarrier in horizontaler Position vorgesehen sind. Die Vorrichtung weist drei gleiche Beladekassetten auf zum Einbringen einiger Siliziumwafer darin. Der Maschinencarrier weist auch Aufnahmevorrichtungen für die Beladekassetten auf, wobei eine Beladekassette eine untere Tragefläche aufweist zum stapelartigen Darauflegen der Siliziumwafer sowie eine im Wesentlichen rechtwinklig dazu verlaufende Rückseite. Die Beladekassette ist derart ausgebildet, dass die der Rückseite gegenüberliegende Seite sowie die Oberseite frei zugänglich sind.
(EN)The invention relates to a device for stacking a plurality of silicon wafers, comprising an upright machine carrier for accommodating a plurality of the silicon wafers, wherein the silicon wafers are provided in the machine carrier in a horizontal position. The device comprises three identical loading cassettes for introducing some silicon wafers therein. The machine carrier also comprises accommodating devices for the loading cassettes, wherein a loading cassette comprises a lower supporting surface on which the silicon wafers can be stacked and a rear side extending substantially perpendicularly thereto. The loading cassette is designed in such a way that the side opposite the rear side and the top side are freely accessible.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'empilement de plusieurs galettes de silicium, qui présente un support de machine posé debout qui reprend plusieurs galettes de silicium, les galettes de silicium étant prévues en position horizontale dans le support de machine. Le dispositif présente trois cassettes identiques de chargement qui y apportent quelques galettes de silicium. Le support de machine présente également des dispositifs de réception des cassettes de chargement, une cassette de chargement présentant une surface inférieure de support sur laquelle sont posées en forme de pile les galettes de silicium ainsi qu'un côté arrière qui s'étend essentiellement perpendiculairement à cette surface. La cassette de chargement est configurée pour permettre un libre accès au côté opposé au côté arrière ainsi qu'au côté supérieur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)