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1. (WO2010136356) MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/136356    International Application No.:    PCT/EP2010/056806
Publication Date: 02.12.2010 International Filing Date: 18.05.2010
IPC:
B81B 3/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
NJIKAM NJIMONZIE, Frederic [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHOCK, Wolfram [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MUCHOW, Joerg [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LESTYAN, Zoltan [HU/HU]; (HU) (For US Only)
Inventors: NJIKAM NJIMONZIE, Frederic; (DE).
SCHOCK, Wolfram; (DE).
MUCHOW, Joerg; (DE).
LESTYAN, Zoltan; (HU)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2009 026 506.6 27.05.2009 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
(FR) PIÈCE MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE PIÈCE MICROMÉCANIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem verstellbaren Element, welches zumindest über eine Feder (12) mit einer Halterung (16) verbunden ist, einer ersten Sensoreinrichtung (22) mit mindestens einem ersten piezo-resistiven Sensorelement (76b bis 82b), welche ein erstes Sensorsignal bezüglich einer ersten mechanischen Spannung bereitstellt, wobei das erste piezo-resistive Sensorelement (76b bis 82b) auf oder in der Feder (12) und/oder einem Verankerungsbereich der Feder (12) angeordnet ist, und einer zweiten Sensoreinrichtung (24) mit mindestens einem zweiten piezo-resistiven Sensorelement (96b bis 102b), welche ein zweites Sensorsignal bezüglich einer zweiten mechanischen Spannung bereitstellt, wobei das zweite piezo-resistive Sensorelement (96b bis 102b) auf oder in der Feder (12) und/oder einem Verankerungsbereich der Feder (12) angeordnet ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
(EN)The invention relates to a micromechanical component comprising an adjustable element which is connected to a holder (16) at least by means of a spring (12), a first sensor device (22) that includes at least one first piezo-resistive sensor element (76b to 82b) and supplies a first sensor signal relating to a first mechanical stress, wherein the first piezo-resistive sensor element (76b to 82b) is arranged on or inside the spring (12) and/or within an anchoring zone of the spring (12), and a second sensor device (24) that includes at least one second piezo-resistive sensor element (96b to 102b) and supplies a second sensor signal relating to a second mechanical stress, wherein the second piezo-resistive sensor element (96b to 102b) is arranged on or inside the spring (12) and/or within an anchoring zone of the spring (12). The invention further relates to a method for producing a micromechanical component.
(FR)L'invention concerne une pièce micromécanique présentant un élément déplaçable qui est relié à un élément de retenue (16) par l'intermédiaire d'un ressort (12), un premier dispositif de détection (22) présentant au moins un premier élément détecteur piézorésistif (76b à 82b) et produisant un premier signal de détection concernant une première tension mécanique, ledit premier détecteur piézorésistif (76b à 82b) étant monté sur ou dans le ressort (12) et/ou sur ou dans une zone d'ancrage dudit ressort (24), ainsi qu'un deuxième dispositif de détection (24) présentant au moins un deuxième élément détecteur piézorésistif (96b à 102b) qui produit un deuxième signal de détection concernant une deuxième tension mécanique. Le deuxième élément détecteur piézorésistif (96b à 102b) est monté sur ou dans le ressort (12) et/ou dans une zone d'ancrage dudit ressort (12). L'invention concerne en outre un procédé de production d'une pièce micromécanique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)