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1. (WO2010124081) OPTICAL INSPECTION OPTIMIZATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/124081    International Application No.:    PCT/US2010/032044
Publication Date: 28.10.2010 International Filing Date: 22.04.2010
IPC:
G06K 9/00 (2006.01)
Applicants: RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; One Rudolph Road Flanders, New Jersey 07836 (US) (For All Designated States Except US).
DOE, Rodney, Bryan [US/US]; (US) (For US Only).
STROM, John [US/US]; (US) (For US Only).
MCLAUGHLIN, Christopher [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DOE, Rodney, Bryan; (US).
STROM, John; (US).
MCLAUGHLIN, Christopher; (US)
Agent: CZAJA, Timothy A.; Dicke, Billig & Czaja, PLLC 100 S. Fifth Street Suite 2250 Minneapolis, Minnesota 55402 (US)
Priority Data:
61/172,077 23.04.2009 US
Title (EN) OPTICAL INSPECTION OPTIMIZATION
(FR) OPTIMISATION D'INSPECTION OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)A method of optimizing an optical inspection and fabrication process is herein disclosed. Images, preferably color digital images, of an object are obtained and multiple filter space representations of these images are created. Each of the representations and the channels or data that define them are analyzed separately or in combination with one another to determine which representations, combination of representations, channels, combinations of channels, data or combinations of data provide the most optimal data for analysis by optical inspection algorithms. The process may be automated in terms of the creation of image representations and/or single or multivariate analysis.
(FR)L'invention porte sur un procédé d'optimisation d'un traitement d'inspection optique et de fabrication. Des images, de préférence des images numériques en couleur, d'un objet sont obtenues et de multiples représentations spatiales de filtre de ces images sont créées. Chacune des représentations et des canaux ou données qui les définissent sont analysés séparément ou en combinaison les uns avec les autres pour déterminer quelles représentations, combinaison de représentations, canaux, combinaisons de canaux, données ou combinaisons de données fournissent les données les plus optimales pour une analyse par des algorithmes d'inspection optique. Le traitement peut être automatisé en termes de la création de représentations d'image et/ou d'analyse monovariable ou multivariable.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)