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1. (WO2010123698) METHOD AND APPARATUS FOR CHARACTERIZING A MULTILAYERED STRUCTURE
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Pub. No.: WO/2010/123698 International Application No.: PCT/US2010/030460
Publication Date: 28.10.2010 International Filing Date: 09.04.2010
IPC:
G02B 6/34 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6
Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
24
Coupling light guides
26
Optical coupling means
34
utilising prism or grating
Applicants: CRANCH, Geoffrey, A.[GB/US]; US (UsOnly)
FLOCKHART, Gordon, M. H.[GB/GB]; GB (UsOnly)
THE GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA, AS REPRESENTED BY THE SECRETARY OF THE NAVY[US/US]; Naval Research Laboratory 4555 Overlook Ave, SW Code 1008.2 Washington, DC 20375, US (AllExceptUS)
Inventors: CRANCH, Geoffrey, A.; US
FLOCKHART, Gordon, M. H.; GB
Agent: RESSING, Amy, L.; US Naval Research Laboratory 4555 Overlook Ave, SW Washington, DC 20375, US
Priority Data:
61/171,85623.04.2009US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHARACTERIZING A MULTILAYERED STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR CARACTÉRISER UNE STRUCTURE MULTICOUCHE
Abstract:
(EN) An apparatus and method for characterizing the complex coupling coefficient of a multilayered periodic structure either during or after inscription is described. This apparatus is capable of continuously measuring the complex reflectivity at single or multiple wavelengths to a resolution limited by Rayleigh scattering in the waveguide section where the structure is inscribed. The apparatus is also capable of rejecting undesired signals associated with stray reflections in the system and unwanted environmentally induced change in optical path lengths during the inscription procedure. The complex coupling coefficient of the multilayered periodic structure can be derived from the measured complex reflectivity and can reveal errors present in the structure. The complex coupling coefficient can also be used to derive an error signal to enable implementation of a closed loop inscription system capable of inscribing error free multilayer structures.
(FR) L'invention porte sur un appareil et sur un procédé pour caractériser le coefficient de couplage complexe d'une structure périodique multicouche soit pendant soit après une inscription. L'appareil est capable de mesurer en continu la réflectivité complexe à des longueurs d'onde simple ou multiple jusqu'à une résolution limitée par la diffusion de Rayleigh dans la section de longueur d'onde dans laquelle la structure est inscrite. L'appareil est également apte à rejeter des signaux non désirés associés à des réflexions parasites dans le système et un changement de longueurs de trajet optique induit de manière environnementale non souhaitée lors de la procédure d'inscription. Le coefficient de couplage complexe de la structure périodique multicouche peut être dérivé de la réflectivité complexe mesurée et peut révéler des erreurs présentes dans la structure. Le coefficient de couplage complexe peut également être utilisé pour dériver un signal d'erreur afin de permettre une mise en œuvre d'un système d'inscription en boucle fermée apte à inscrire des structures multicouches sans erreur.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)