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1. (WO2010123157) LIQUID IMMERSION MEMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/123157    International Application No.:    PCT/JP2010/057737
Publication Date: 28.10.2010 International Filing Date: 23.04.2010
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
SATO Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
FUJIWARA Tomoharu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SATO Shinji; (JP).
FUJIWARA Tomoharu; (JP)
Agent: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Priority Data:
61/202,983 24.04.2009 US
61/202,984 24.04.2009 US
12/765,410 22.04.2010 US
Title (EN) LIQUID IMMERSION MEMBER
(FR) ÉLÉMENT D'IMMERSION LIQUIDE
Abstract: front page image
(EN)A liquid immersion member (4) is disposed around an optical member having an emergent surface (23) from at least part of which exposure light is emitted and which holds a liquid (LQ) between itself and an object (P) opposing the emergent surface so that an optical path (K) of exposure light between the emergent surface and the object is filled with a liquid to form an immersion space (LS). The liquid immersion member comprises: an opening (55) that recovers a liquid on the object with a gas; a space (56) into which the liquid and the gas from the opening are entered; a recovery passageway (35) into which only a liquid in the space is entered; an inner side surface (62A) that opposes at least part of a side surface (22A) of the optical member (22) with a gap (65) therebetween; and a recovery port (33) that recovers at least part of a liquid in the gap.
(FR)L'invention porte sur un élément d'immersion liquide (4) qui est disposé autour d'un élément optique ayant une surface émergente (23) à partir d'au moins une partie de laquelle une lumière d'exposition est émise, et qui contient un liquide (LQ) entre lui-même et un objet (P) face à la surface émergente, de sorte qu'un trajet optique (K) de la lumière d'exposition entre la surface émergente et l'objet est remplie d'un liquide pour former un espace d'immersion (LS). L'élément d'immersion liquide comporte : une ouverture (55) qui recouvre un liquide sur l'objet avec un gaz ; un espace (56) dans lequel le liquide et le gaz provenant de l'ouverture pénètrent ; un passage de récupération (35) dans lequel seul un liquide dans l'espace pénètre ; une surface latérale interne (62) qui fait face à au moins une partie d'une surface latérale (22A) de l'élément optique (22) avec un espace (65) entre celles-ci, et un orifice de récupération (33) qui récupère au moins une partie d'un liquide dans l'espace.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)