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1. (WO2010122717) SAMPLE HOLDER, METHOD FOR USE OF THE SAMPLE HOLDER, AND CHARGED PARTICLE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/122717    International Application No.:    PCT/JP2010/002525
Publication Date: 28.10.2010 International Filing Date: 07.04.2010
IPC:
H01J 37/20 (2006.01), G01N 1/28 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
NAGAKUBO, Yasuhira [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANIGAKI, Toshiaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITO, Katsuji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAGAKUBO, Yasuhira; (JP).
TANIGAKI, Toshiaki; (JP).
ITO, Katsuji; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; C/O HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2009-103518 22.04.2009 JP
Title (EN) SAMPLE HOLDER, METHOD FOR USE OF THE SAMPLE HOLDER, AND CHARGED PARTICLE DEVICE
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON, PROCÉDÉ D'UTILISATION DU PORTE-ÉCHANTILLON, ET DISPOSITIF À PARTICULES CHARGÉES
(JA) 試料ホールダ,該試料ホールダの使用法、及び荷電粒子装置
Abstract: front page image
(EN)A sample holder for efficiently performing the processing or observation of a sample by means of charged particles while cooling. Particularly, disclosed is a sample holder whereby the processing or observation of a material which may be affected by the influence of heat damage can be performed in a state in which the material is cooled, and furthermore, the influence due to a sample processing method using charged particles can be reduced by cooling. The sample holder is provided with a sample stage capable of fixing a sample piece extracted from a sample by ion beam irradiation, and a rotation mechanism for rotating the sample stage in a desired direction, which can be attached to an ion beam device and a transmission electron microscope device, and which has a movable heat transfer material for thermally connecting the sample stage and a cooling source, and an isolation material for thermally isolating the sample stage and the heat transfer material from the outside. According to the sample holder, the processing or observation of a sample by means of charged particle beams can be performed while efficiently cooling.
(FR)L'invention porte sur un porte-échantillon destiné à réaliser efficacement le traitement ou l'observation d'un échantillon au moyen de particules chargées tout en le refroidissant. En particulier, l'invention porte sur un porte-échantillon, dans lequel on peut réaliser le traitement ou l'observation de matériau pouvant être affecté par l'influence d'un endommagement thermique dans un état dans lequel le matériau est refroidi, et réduire en outre par refroidissement l'influence due à un procédé de traitement d'échantillon utilisant des particules chargées. Le porte-échantillon comporte une platine d'échantillon pouvant permettre la fixation d'un élément d'échantillon extrait d'un échantillon par irradiation par faisceau unique, et un mécanisme de rotation destiné à entraîner en rotation dans une direction désirée la platine d'échantillon, qui peut être fixée à un dispositif de faisceau ionique et à un dispositif de microscope électronique de transmission, et comporte un matériau de transfert thermique mobile destiné à relier thermiquement la platine d'échantillon à une source de refroidissement, et un matériau isolant destiné à isoler thermiquement de l'extérieur la platine d'échantillon et le matériau de transfert de chaleur. Au moyen du porte-échantillon de l'invention, on peut réaliser le traitement ou l'observation d'un échantillon au moyen de faisceau des particules chargées tout en le refroidissant efficacement.
(JA) 本発明の目的は、冷却しながらの荷電粒子による加工もしくは観察を効率的に行うことに関する。特に、熱ダメージの影響が懸念されるような材料を冷却した状態で加工観察することに関する。また、荷電粒子を用いた試料加工法による影響を冷却により効果的に軽減することに関する。 本発明は、イオンビーム照射により試料から摘出された試料片を固定できる試料台と、該試料台を所望方向に回転させる回転機構と、を備え、イオンビーム装置と透過電子線顕微鏡装置に装着可能であり、前記試料台と冷却源とを熱的に接続する可動な熱伝達物と、前記試料台と該熱伝達物質を熱的に外界から隔離する隔離物質を有する試料ホールダに関する。本発明により、効率的に冷却しながら荷電粒子線による加工や観察を行うことが可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)