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1. (WO2010122707) PIEZOELECTRIC THIN FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, INKJET HEAD, METHOD FOR FORMING IMAGES USING AN INKJET HEAD, ANGULAR VELOCITY SENSOR, METHOD FOR MEASURING ANGULAR VELOCITY USING AN ANGULAR VELOCITY SENSOR, PIEZOELECTRIC ELEMENT, AND METHOD FOR GENERATING ELECTRICITY USING PIEZOELECTRIC ELEMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/122707    International Application No.:    PCT/JP2010/001472
Publication Date: 28.10.2010 International Filing Date: 03.03.2010
IPC:
H01L 41/09 (2006.01), B41J 2/045 (2006.01), B41J 2/055 (2006.01), B41J 2/16 (2006.01), G01C 19/56 (2006.01), G01P 9/04 (2006.01), H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/187 (2006.01), H01L 41/22 (2006.01)
Applicants: PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (For All Designated States Except US).
HARIGAI, Takakiyo; (For US Only).
ADACHI, Hideaki; (For US Only).
FUJII, Eiji; (For US Only)
Inventors: HARIGAI, Takakiyo; .
ADACHI, Hideaki; .
FUJII, Eiji;
Agent: KAMADA, Koichi; 8th Fl., UMEDA PLAZA BLDG. ANNEX 4-3-25, Nishitenma, Kita-ku Osaka-shi, Osaka 300047 (JP)
Priority Data:
2009-101815 20.04.2009 JP
Title (EN) PIEZOELECTRIC THIN FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, INKJET HEAD, METHOD FOR FORMING IMAGES USING AN INKJET HEAD, ANGULAR VELOCITY SENSOR, METHOD FOR MEASURING ANGULAR VELOCITY USING AN ANGULAR VELOCITY SENSOR, PIEZOELECTRIC ELEMENT, AND METHOD FOR GENERATING ELECTRICITY USING PIEZOELECTRIC ELEMENTS
(FR) FILM MINCE PIÉZOÉLECTRIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, TÊTE DE JET D'ENCRE, PROCÉDÉ DE FORMATION D'IMAGES À L'AIDE D'UNE TÊTE À JET D'ENCRE, CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE, PROCÉDÉ DE MESURE DE LA VITESSE ANGULAIRE À L'AIDE D'UN CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE, ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'ÉLECTRICITÉ À L'AIDE D'ÉLÉMENTS PIÉZOÉLECTRIQUES
(JA) 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a piezoelectric thin film that contains a lead-free ferroelectric material and has high piezoelectric performance comparable to lead zirconate titanate (PZT). Also provided is a manufacturing method for said piezoelectric thin film. The piezoelectric thin film is provided with a (001)-oriented LaNiO3 film, a (001)-oriented NaNbO3 film, and a (001)-oriented (Bi, Na, Ba)TiO3 film, layered in that order.
(FR)L'invention porte sur un film mince piézoélectrique qui contient une matière ferroélectrique exempte de plomb et qui présente une efficacité piézoélectrique élevée comparable au zirconate titanate de plomb (PZT). L'invention porte également sur un procédé de fabrication dudit film mince piézoélectrique. Le film mince piézoélectrique est muni d'un film de LaNiO3 orienté (001), d'un film de NaNbO3 orienté (001) et d'un film de (Bi, Na, Ba)TiO3 orienté (001), superposés dans cet ordre.
(JA) 非鉛強誘電材料を含む圧電体薄膜であって、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)と同レベルの高い圧電性能を示す圧電体薄膜とその製造方法とを提供する。本発明の圧電体薄膜は、(001)配向を有するLaNiO3膜と、(001)配向を有するNaNbO3膜と、(001)配向を有する(Bi,Na,Ba)TiO3膜と、を具備し、前記LaNiO3膜、前記NaNbO3膜、および前記(Bi,Na,Ba)TiO3膜がこの順に積層されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)