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1. (WO2010121930) DEVICE FOR HIGH TEMPERATURE PULSED LASER DEPOSITION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2010/121930 International Application No.: PCT/EP2010/054875
Publication Date: 28.10.2010 International Filing Date: 14.04.2010
IPC:
C23C 14/28 (2006.01) ,C23C 14/58 (2006.01) ,B23K 26/42 (2006.01) ,F16P 1/04 (2006.01)
Applicants: BROEKMAAT, Joska Johannes[NL/NL]; NL (UsOnly)
JANSSENS, Jan Arnoud[NL/NL]; NL (UsOnly)
DEKKERS, Jan Matthijn[NL/NL]; NL (UsOnly)
SOLMATES B.V.[NL/NL]; Drienerlolaan 5 NL-7522 NB Enschede, NL (AllExceptUS)
Inventors: BROEKMAAT, Joska Johannes; NL
JANSSENS, Jan Arnoud; NL
DEKKERS, Jan Matthijn; NL
Agent: 'T JONG, Bastiaan Jacob; Hengelosestraat 141 NL-7521 AA Enschede, NL
Priority Data:
09158522.422.04.2009EP
Title (EN) DEVICE FOR HIGH TEMPERATURE PULSED LASER DEPOSITION
(FR) DISPOSITIF POUR DÉPÔT À HAUTE TEMPÉRATURE PAR LASER PULSÉ
Abstract: front page image
(EN) The invention relates to a device for pulsed laser deposition, which device comprises: - a substrate mount with a substrate mounting surface for a substrate; - a target mount for a piece of target material arranged substantially parallel to and at a distance from the substrate mount; - a laser device for directing a laser beam on a piece of target material mounted on the target mount, such that a plasma plume of target material is generated and deposits on the substrate; - heating means for heating a substrate mounted on the substrate mount; and - a heat shield arranged between the substrate mount and the target mount for shielding the target from being heated by the heated substrate, wherein the heat shield comprises at least one passage opening for passage of at least the generated plasma plume.
(FR) La présente invention concerne un dispositif pour dépôt par laser pulsé. Ce dispositif comprend: - un porte-substrat présentant une surface de pose de substrat, destinée à un substrat; - un porte-cible destiné à un morceau de matériau cible disposé sensiblement parallèlement et à distance par rapport au prote-substrat; - un dispositif laser permettant de diriger un faisceau laser sur un morceau de matériau cible disposé sur le porte-cible, de façon à produire un nuage de plasma qui se dépose sur le substrat, - des organes de chauffage servant à chauffer un substrat placé sur le porte-substrat; et - un écran thermique disposé entre le porte-substrat et le porte-cible de façon à protéger la cible contre la chaleur que dégage le substrat chauffé. En l'occurrence, l'écran thermique comprend au moins une ouverture pour laisser passer au moins le nuage de plasma produit.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)