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1. (WO2010121190) DIFFUSION FURNACES EMPLOYING ULTRA LOW MASS TRANSPORT SYSTEMS AND METHODS OF WAFER RAPID DIFFUSION PROCESSING
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Pub. No.: WO/2010/121190 International Application No.: PCT/US2010/031473
Publication Date: 21.10.2010 International Filing Date: 16.04.2010
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677
for conveying, e.g. between different work stations
Applicants:
PARKS, Richard, W. [US/US]; US (UsOnly)
REY GARCIA, Luis, Alejandro [US/US]; US (UsOnly)
RAGAY, Peter, G. [US/US]; US (UsOnly)
TP SOLAR, INC., A CORPORATION OF CA [US/US]; 15944 Downey Avenue Paramount, CA 90723, US (AllExceptUS)
Inventors:
PARKS, Richard, W.; US
REY GARCIA, Luis, Alejandro; US
RAGAY, Peter, G.; US
Agent:
DULIN, Jacques, M.; Innovation Law Group, Ltd. 237 N. Sequim Avenue Sequim, WA 98382, US
Priority Data:
12/761,63216.04.2010US
61/170,05116.04.2009US
Title (EN) DIFFUSION FURNACES EMPLOYING ULTRA LOW MASS TRANSPORT SYSTEMS AND METHODS OF WAFER RAPID DIFFUSION PROCESSING
(FR) FOURS DE DIFFUSION EMPLOYANT DES SYSTÈMES DE TRANSPORT DE MASSE ULTRA FAIBLE ET PROCÉDÉS DE TRAITEMENT DE DIFFUSION RAPIDE DE TRANCHES
Abstract:
(EN) Multi-zone, solar cell diffusion furnaces having a plurality of radiant element (SiC) or/and high intensity IR lamp heated process zones, including baffle, ramp-up, firing, soaking and cooling zone(s). The transport of solar cell wafers, e.g., silicon, selenium, germanium or gallium-based solar cell wafers, through the furnace is implemented by use of an ultra low- mass, wafer transport system comprising laterally spaced shielded metal bands or chains carrying non-rotating alumina tubes suspended on wires between them. The wafers rest on raised circumferential standoffs spaced laterally along the alumina tubes, which reduces contamination. The bands or chains are driven synchronously at ultra-low tension by a pin drive roller or sprocket at either the inlet or outlet end of the furnace, with appropriate tensioning systems disposed in the return path. The high intensity IR flux rapidly photo-radiation conditions the wafers so that diffusion occurs > 3X faster than conventional high-mass thermal furnaces.
(FR) L'invention porte sur des fours de diffusion de cellule solaire, à multiples zones, ayant une pluralité de zones de traitement chauffées par élément rayonnant (SiC) et/ou lampe IR de haute intensité, comprenant des zones de déflecteur, d'accélération, de cuisson, de trempage et de refroidissement. Le transport de tranches de cellule solaire, par exemple, des tranches de cellule solaire à base de silicium, de sélénium, de germanium ou de gallium, à travers le four, est mis en œuvre par l'utilisation d'un système de transport de tranches à ultra faible masse, comprenant des bandes ou des chaînes métalliques blindées espacées latéralement, portant des tubes d'alumine non rotatifs suspendus sur des fils entre elles. Les tranches reposent sur des supports périphériques dressés espacés latéralement le long des tubes d'alumine, ce qui réduit une contamination. Les bandes ou chaînes sont entraînées de manière synchrone à une tension ultra faible par un galet ou un pignon d'entraînement à broche, soit à l'extrémité d'entrée, soit à l'extrémité de sortie du four, avec des systèmes de mise sous tension appropriés disposés dans le trajet de retour. Le flux IR de haute intensité conditionne les tranches rapidement par photo-radiation de telle sorte que la diffusion se produit > à 3X plus vite que les fours thermiques à masse élevée classiques.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)