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1. (WO2010121112) METHOD AND APPARATUS FOR RESIDUE DETECTION IN THE EDGE DELETED AREA OF A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/121112    International Application No.:    PCT/US2010/031364
Publication Date: 21.10.2010 International Filing Date: 16.04.2010
IPC:
G01N 21/88 (2006.01), G01N 21/47 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
TSAI, Kenneth Chien-Quen [US/US]; (US) (For US Only).
SCHLEZINGER, Asaf [IL/US]; (US) (For US Only)
Inventors: TSAI, Kenneth Chien-Quen; (US).
SCHLEZINGER, Asaf; (US)
Agent: SERVILLA, Scott S.; Diehl Servilla LLC 33 Wood Ave South Second Floor, Suite 210 Iselin, NJ 08830 (US)
Priority Data:
12/425,806 17.04.2009 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR RESIDUE DETECTION IN THE EDGE DELETED AREA OF A SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉTECTION DE RÉSIDUS DANS LA ZONE À BORDS SUPPRIMÉS D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)Apparatus and methods for detecting residue on a glass substrate and method of use are disclosed. The apparatus comprises a substrate support, a sensor, a controller and a peripheral device in communication with the controller. The apparatus measures the height or thickness of a main surface and an edge delete surface of a substrate to determine if film residue is present on the edge delete surface.
(FR)Cette invention concerne un appareil et des procédés de détection de résidus sur un substrat en verre et son procédé d'utilisation. L'appareil comprend un support de substrat, un capteur, un système de contrôle et un dispositif périphérique en communication avec le système de contrôle. L'appareil mesure la hauteur ou l'épaisseur d'une surface principale et d'une zone à bords supprimés d'un substrat pour déterminer la présence de résidus de film sur la zone à bords supprimés.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)