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1. (WO2010120238) OPTICAL PROBING IN ELECTRON MICROSCOPES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2010/120238 International Application No.: PCT/SE2010/050405
Publication Date: 21.10.2010 International Filing Date: 15.04.2010
IPC:
B01J 37/20 (2006.01) ,B25J 7/00 (2006.01) ,H01J 37/26 (2006.01)
Applicants: DANILOV, Andrey[RU/SE]; SE (UsOnly)
OLIN, Håkan[SE/SE]; SE (UsOnly)
ANGENETE, Johan[SE/SE]; SE (UsOnly)
NANOFACTORY INSTRUMENTS AB[SE/SE]; Chalmers Teknikpark 9 A S-412 58 Göteborg, SE (AllExceptUS)
Inventors: DANILOV, Andrey; SE
OLIN, Håkan; SE
ANGENETE, Johan; SE
Agent: VALEA AB; Lindholmspiren 5 S-417 56 Göteborg, SE
Priority Data:
61/169,44215.04.2009US
Title (EN) OPTICAL PROBING IN ELECTRON MICROSCOPES
(FR) SONDAGE OPTIQUE DANS DES MICROSCOPES ÉLECTRONIQUES
Abstract: front page image
(EN) The present invention relates to an optical arrangement and in particular to an optical arrangement for use in electron microscopy applications. This is used for sample characterization with simultaneous measurement with the electron microscopy of the sample and measurements with an optical setup and/or using a manipulator for probing of a light source or a scanning probe device.
(FR) La présente invention concerne un montage optique et, en particulier, sur un montage optique destiné à être utilisé dans des applications de microscopie électronique. Ledit montage optique est utilisé pour la caractérisation d'un échantillon avec mesure simultanée par microscopie électronique de l'échantillon et pour des mesures avec un montage optique et/ou à l'aide d'un manipulateur pour sonder une source de lumière ou un dispositif de sonde à balayage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)