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1. (WO2010119939) PROCESS PARAMETER SELECTION APPARATUS, PROCESS PARAMETER SELECTION METHOD, PROCESS PARAMETER SELECTION PROGRAM, AND PROGRAM STORAGE MEDIUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/119939    International Application No.:    PCT/JP2010/056819
Publication Date: 21.10.2010 International Filing Date: 16.04.2010
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP) (For All Designated States Except US).
MASUI, Yuki [JP/--]; (For US Only)
Inventors: MASUI, Yuki;
Agent: TANAKA, Mitsuo; AOYAMA & PARTNERS, IMP Building, 3-7, Shiromi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400001 (JP)
Priority Data:
2009-099998 16.04.2009 JP
2009-255149 06.11.2009 JP
Title (EN) PROCESS PARAMETER SELECTION APPARATUS, PROCESS PARAMETER SELECTION METHOD, PROCESS PARAMETER SELECTION PROGRAM, AND PROGRAM STORAGE MEDIUM
(FR) APPAREIL PROCEDE , PROGRAMME DE SELECTION DE PARAMETRE DE PROCESSUS, ET SUPPORT DE STOCKAGE DE PROGRAMME
(JA) プロセスパラメータ選択装置、プロセスパラメータ選択方法、プロセスパラメータ選択プログラム、および、プログラム記録媒体
Abstract: front page image
(EN)A process parameter selection apparatus which, in a production process including a plurality of production apparatuses having the same function, selects process parameters that can be used to create a prediction model for predicting quality with high serviceability and high precision. The apparatus sets the process parameters collected from the production process as explanatory variables and the inspection data collected from an inspection process as target variables. The apparatus runs a PLS analysis on each production apparatus separately, and selects, as the process parameters which are common to the production apparatuses and which are related to quality, the process parameters which have averages of VIP values, of individual process parameters, that are greater than or equal to reference values. The apparatus thus selects the process parameters that can be used to create a highly precise prediction model. Further, the apparatus reduces the number of managed process parameters as well as can set the process parameters to be common to all production apparatuses, reduce the man hours and time spent on process parameter management, and achieve high serviceability.
(FR)L'invention concerne un appareil de sélection de paramètres de processus qui, dans le processus de production comportant plusieurs appareils de production ayant la même fonction, choisit les paramètres de processus que l'on peut utiliser pour créer un modèle de prédiction pour prévoir la qualité avec une fonctionnalité et une précision élevées. L'appareil établit les paramètres de processus recueillis du processus de production comme variables d'explication et les données d'inspection recueillies du processus d'inspection comme variables cibles. L'appareil procède à une analyse PLS séparément sur chaque appareil de production , et choisit, comme paramètres de processus qui soient communs aux appareils de production et qui se rapportent à la qualité, les paramètres de processus qui ont des moyennes des valeurs VIP, des paramètres de processus individuels, qui sont supérieurs ou égaux aux valeurs de référence. L'appareil choisit donc les paramètres de processus que l'on peut utiliser pour créer un modèle de prédiction particulièrement précis. De plus, l'appareil permet de réduire le nombre de paramètres de processus gérés, d'établir les paramètres de processus qui soient communs à tous les appareils de production, de réduire le nombre d'heure-personne et le temps consacré à la gestion de paramètres de processus, et de réaliser une fonctionnalité élevée.
(JA) 同一機能を有する複数の製造装置を含む製造工程において、高い保守性と高い精度とで品質を予測する予測モデルを作成可能にするプロセスパラメータを選択する。製造工程から収集したプロセスパラメータを説明変数とし、検査工程から収集した検査データを目的変数として、各製造装置別のPLSを行い、各プロセスパラメータ毎のVIP値の平均値が基準値以上であるプロセスパラメータを、各製造装置に共通であって品質に関係のあるプロセスパラメータとして選択する。こうして、精度の高い予測モデルを作成できるプロセスパラメータの選択を行う。また、管理するプロセスパラメータの数を減らすと共に、プロセスパラメータを全製造装置に共通とすることができ、プロセスパラメータ管理の工数および時間を削減し、高い保守性を得ることができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)