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1. (WO2010116746) ELECTRONIC COMPONENT PROVIDED WITH Cu-Al-Co-BASED ALLOY ELECTRODE OR WIRING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2010/116746 International Application No.: PCT/JP2010/002573
Publication Date: 14.10.2010 International Filing Date: 08.04.2010
IPC:
C22C 9/01 (2006.01) ,C22C 9/06 (2006.01) ,H01J 9/02 (2006.01) ,H01J 11/02 (2006.01) ,H01L 21/28 (2006.01) ,H01L 21/285 (2006.01) ,H01L 21/3205 (2006.01) ,H01L 23/52 (2006.01) ,H01L 31/04 (2006.01) ,H05K 1/09 (2006.01)
Applicants: KATO, Takahiko[JP/JP]; JP (UsOnly)
NAITO, Takashi[JP/JP]; JP (UsOnly)
YAMAMOTO, Hiroki[JP/JP]; JP (UsOnly)
AOYAGI, Takuya[JP/JP]; JP (UsOnly)
WATANABE, Seiichi[JP/JP]; JP (UsOnly)
MIURA, Seiji[JP/JP]; JP (UsOnly)
SAKAGUCHI, Norihito[JP/JP]; JP (UsOnly)
AOSHIMA, Kazuki[JP/JP]; JP (UsOnly)
OHKUBO, Kenji[JP/JP]; JP (UsOnly)
HITACHI, LTD.[JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280, JP (AllExceptUS)
Inventors: KATO, Takahiko; JP
NAITO, Takashi; JP
YAMAMOTO, Hiroki; JP
AOYAGI, Takuya; JP
WATANABE, Seiichi; JP
MIURA, Seiji; JP
SAKAGUCHI, Norihito; JP
AOSHIMA, Kazuki; JP
OHKUBO, Kenji; JP
Agent: Polaire I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
Priority Data:
2009-09562810.04.2009JP
Title (EN) ELECTRONIC COMPONENT PROVIDED WITH Cu-Al-Co-BASED ALLOY ELECTRODE OR WIRING
(FR) COMPOSANT ÉLECTRONIQUE DOTÉ D'UNE ÉLECTRODE OU D'UN CÂBLAGE D'ALLIAGE À BASE DE Cu-Al-Co
(JA) Cu-Al-Co系合金の電極・配線を具備した電子部品
Abstract: front page image
(EN) Provided is an electronic component using a Cu-based electrical conducting material which can prevent oxidation during a heat treatment, even in an oxidative atmosphere, and prevent an increase in electrical resistance. Disclosed is an electronic component provided with an electrode or a wiring, characterized in that a three-component alloy consisting of Cu, Al and Co elements is used as a Cu-based wiring material by which oxidation of the electrode or wiring can be prevented. Specifically disclosed is an electronic component provided with an electrode or a wiring, characterized in that the electrode or wiring partially or entirely comprises a three-component alloy which has a chemical composition consisting of 10-25 at% of Al, 5-20 at% of Co and the balance of Cu with unavoidable impurities, and in which two phases, namely, a Cu solid solution comprising Al and Co dissolved in Cu and a Co-Al intermetallic compound, are present together.
(FR) L'invention porte sur un composant électronique utilisant une matière conductrice de l'électricité à base de Cu qui peut empêcher l'oxydation pendant un traitement thermique, même dans une atmosphère oxydante, et empêcher une augmentation de la résistance électrique. L'invention porte sur un composant électronique doté d'une électrode ou d'un câblage, caractérisé par le fait qu'un alliage à trois composants, consistant en les éléments Cu, Al et Co, est utilisé comme matière de câblage à base de Cu par laquelle l'oxydation de l'électrode ou du câblage peut être empêchée. De façon spécifique, l'invention porte sur un composant électronique doté d'une électrode ou d'un câblage, caractérisé par le fait que l'électrode ou le câblage comprend partiellement ou totalement un alliage à trois composants qui a une composition chimique consistant en 10-25 % atomiques d'Al, 5-20 % atomiques de Co, le complément étant constitué par Cu avec les impuretés inévitables, et dans lequel deux phases, à savoir, une solution solide de Cu comprenant Al et Co dissous dans Cu et un composé intermétallique Co-Al sont présents ensemble.
(JA)  本発明は、酸化雰囲気中での熱処理でも酸化を抑制でき、電気抵抗の増加を抑制可能なCu系導電部材を用いた電子部品を提供することを目的とし、電極または配線を有する電子部品において、該電極・配線の酸化を防ぐことのできるCu系配線材料として、Cu,Al、及びCoの3元素から成る3元系合金を用いることを特徴とする。具体的には、前記電極または配線の一部または全部が、Al含有量:10at%~25at%,Co含有量:5at%~20at%、残部がCu及び不可避不純物で構成される化学組成を有し、CuにAlとCoが溶け込んだCu固溶体と、CoAl金属間化合物の2相が共存した3元系合金であることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)