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1. (WO2010116428) SPECIMEN PREPARATION DEVICE, AND CONTROL METHOD IN SPECIMEN PREPARATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/116428    International Application No.:    PCT/JP2009/005580
Publication Date: 14.10.2010 International Filing Date: 23.10.2009
IPC:
G01N 1/28 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
MADOKORO, Yuichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ONISHI, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AIZAWA, Megumi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YOSHIZAWA, Yukio [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MADOKORO, Yuichi; (JP).
ONISHI, Tsuyoshi; (JP).
AIZAWA, Megumi; (JP).
YOSHIZAWA, Yukio; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; (JP)
Priority Data:
2009-080851 30.03.2009 JP
Title (EN) SPECIMEN PREPARATION DEVICE, AND CONTROL METHOD IN SPECIMEN PREPARATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PRÉPARATION D'ÉCHANTILLON, ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DANS LE DISPOSITIF DE PRÉPARATION D'ÉCHANTILLON
(JA) 試料作製装置、及び試料作製装置における制御方法
Abstract: front page image
(EN)Separation and the like of an excised specimen from a specimen are automatically performed. Marks for improving image recognition accuracy are provided in a region that becomes an excised specimen in a specimen and a region other than said region, or in a transfer means for transferring the excised specimen and a specimen holder capable of holding the excised specimen, and the relative movement of the excised specimen and the specimen, and the like are recognized with high accuracy by image recognition. In the sampling of a minute specimen using a focused ion beam, the detection of an end point of processing for separation of the excised specimen from the specimen, and the like are automatically performed. Thus, for example, unmanned specimen excision becomes possible, and preparation of a lot of specimens becomes possible.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de séparation d'échantillon, dans lequel la séparation et analogue d'un échantillon excisé à partir d'un échantillon est automatiquement exécutée. Des marques, pour améliorer la précision de la reconnaissance d'image, sont prévues dans une région qui devient un échantillon excisé dans un échantillon, et dans une région autre que ladite région, ou dans un moyen de transfert destiné à transférer l'échantillon excisé et un porte-échantillon capable de porter l'échantillon excisé, et le mouvement relatif de l'échantillon excisé et de l'échantillon, et analogue, est reconnu avec une grande précision par une reconnaissance d'image. Lors de l'échantillonnage d'un minuscule échantillon par utilisation d'un faisceau ionique focalisé, la détection d'un point final de traitement, pour séparation de l'échantillon excisé à partir de l'échantillon, et analogue, est automatiquement exécutée. Ainsi, par exemple, il est possible d'avoir une excision automatique d'échantillons, et la préparation d'un grand nombre d'échantillons devient possible.
(JA) 本発明の目的は、試料からの摘出試料の分離等を自動的に行うことに関する。 本発明は、試料における摘出試料となる領域や、それ以外の領域、若しくは、摘出試料を移送する移送手段や、摘出試料を保持できる試料ホルダに、画像認識の精度を向上させる指標を設け、摘出試料と試料の相対的移動等を高精度に画像認識することに関する。本発明によれば、集束イオンビームを用いた微小試料のサンプリングにおいて、摘出試料と試料との分離加工の終点検知等を自動的に実施できるようになる。このため、例えば、無人化した試料摘出が可能となり、大量の試料作製を行うことが可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)