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1. (WO2010116291) OPTICAL WAVEGUIDE WITH EMBEDDED LIGHT-REFLECTING FEATURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
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Pub. No.: WO/2010/116291 International Application No.: PCT/IB2010/051397
Publication Date: 14.10.2010 International Filing Date: 31.03.2010
IPC:
G02B 6/138 (2006.01) ,G02B 6/42 (2006.01) ,G02B 6/122 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6
Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
10
of the optical waveguide type
12
of the integrated circuit kind
13
Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
138
by using polymerisation
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6
Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
24
Coupling light guides
42
Coupling light guides with opto-electronic elements
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6
Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
10
of the optical waveguide type
12
of the integrated circuit kind
122
Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
Applicants:
DANGEL, Roger F [CH/CH]; CH (UsOnly)
HORST, Folkert [NL/CH]; CH (UsOnly)
LAMPRECHT, Tobias P [CH/CH]; CH (UsOnly)
OFFREIN, Bert Jan [NL/CH]; CH (UsOnly)
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; New Orchard Road Armonk, New York 10504, US (AllExceptUS)
Inventors:
DANGEL, Roger F; CH
HORST, Folkert; CH
LAMPRECHT, Tobias P; CH
OFFREIN, Bert Jan; CH
Agent:
RAGOT, Sebastien; IBM Research GmbH IBM Research - Zurich Intellectual Property Law, Saeumerstrasse 4 CH-8803 Rueschlikon, CH
Priority Data:
09157654.608.04.2009EP
Title (EN) OPTICAL WAVEGUIDE WITH EMBEDDED LIGHT-REFLECTING FEATURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
(FR) GUIDE D'ONDE OPTIQUE AVEC ÉLÉMENT RÉFLÉCHISSANT LA LUMIÈRE INTÉGRÉ ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
(EN) The invention is directed to a method for fabricating an optical waveguide (100). Basically, it relies on setting on the lower cladding(11), both the waveguide cores (26L–48l) and light-reflecting features (23 –23c), e.g. mirrors or fiducial markers. The reflecting features and the waveguide cores constitute a core layer having an open structure. An upper cladding polymer (31) is then applied, which embeds the light-reflecting features and the waveguides. Thus, the upper cladding applied fills the space left vacant by the open structures. The components of the core layer are accordingly set in place during the fabrication process, before filling the cladding at the level at which they are located. Since the light reflecting features and waveguide cores can be set with high accuracy on the lower cladding (before applying the upper cladding), the problems of reworking (e.g. dicing) or refining position of a light-reflecting feature inserted a posteriori is circumvented. Advantageously, both the waveguide cores and reflecting feature scan be patterned onto the lower cladding. The reflecting features may further be obtained from a selective metallization process.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un guide d'onde optique (100). Il s'agit, fondamentalement, de disposer sur la gaine inférieure (11) à la fois les cœurs du guide d'onde (26L-48L) et les éléments réfléchissant la lumière (23-23c), par exemple des miroirs ou des repères d'alignement. Les éléments réfléchissants et les cœurs du guide d'onde constituent une couche centrale de structure ouverte. Un polymère formant la gaine supérieure (31) et enchâssant les éléments réfléchissants et les guides d'ondes, est ensuite appliqué. Ainsi, la gaine supérieure mise en place remplit l'espace laissé libre par les structures ouvertes. Les composants de la couche centrale sont donc positionnés durant le processus de fabrication, avant la mise en place de la gaine au niveau auquel ils sont situés. Comme les éléments réfléchissant la lumière et les cœurs du guide d'onde peuvent être positionnés avec une grande précision sur la gaine inférieure (avant la mise en place de la gaine supérieure), on évite les problèmes de remaniement (par exemple de découpage en dés) ou de rectification de la position d'un élément réfléchissant la lumière introduit à postériori. De façon tout à fait avantageuse, les cœurs du guide d'onde comme l'élément réfléchissant peuvent être imprimés sur la gaine inférieure. Les éléments réfléchissants peuvent, en outre, être obtenus à partir d'un processus de métallisation sélective.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)