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1. (WO2010115632) METHOD FOR AUTOMATIC MEASUREMENT AND FOR TEACHING-IN OF LOCATION POSITIONS OF OBJECTS WITHIN A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM BY MEANS OF SENSOR CARRIERS AND ASSOCIATED SENSOR CARRIER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/115632    International Application No.:    PCT/EP2010/002213
Publication Date: 14.10.2010 International Filing Date: 09.04.2010
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: AES MOTOMATION GMBH [DE/DE]; Nikolaus-Otto-Strasse 8 40670 Meerbusch (DE) (For All Designated States Except US).
HERTGENS, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MUELLER, Torsten [--/DE]; (DE) (For US Only).
WALTNER, Paul [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HERTGENS, Andreas; (DE).
MUELLER, Torsten; (DE).
WALTNER, Paul; (DE)
Agent: COHAUSZ DAWIDOWICZ HANNIG & SOZIEN; Schumannstrasse 97-99 40237 Düsseldorf (DE)
Priority Data:
10 2009 016 811.7 09.04.2009 DE
Title (EN) METHOD FOR AUTOMATIC MEASUREMENT AND FOR TEACHING-IN OF LOCATION POSITIONS OF OBJECTS WITHIN A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM BY MEANS OF SENSOR CARRIERS AND ASSOCIATED SENSOR CARRIER
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATION D'OBJETS DANS UN SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AU MOYEN DE SUPPORTS DE CAPTEURS ET D'UN SUPPORT DE CAPTEUR ASSOCIÉ
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a method for automatic measurement and for teaching-in of location positions of objects (11) within a substrate processing system (20, 26) in which a sensor carrier (1) is moved by means of a robot end effector (24). Sensor units (2, 3, 4, 5a, 5b) of the sensor carrier (1) are moved along straight movement lines (B1, B2, B3) across the edges (10a, 10b) of the object (11), wherein each of the sensor units (2, 3, 4, 5a, 5b) output at least one sensor signal which changes its value upon detection of an edge (10a, 10b). From the positions of the signal changes along the respective straight movement lines (B1, B2, B3), the location position of the object (11) is determined. Furthermore, the invention relates to a substrate like movable, wireless sensor carrier for carrying out the method according to the invention, with a carrier plate (1a), at least one first sensor unit (4, 5a, 5b) which is mounted on the carrier plate (1a) and which is arranged to detect a first object edge (10a) and a second object edge (10b) of the object (11) during a movement of the sensor carrier (1) on a straight movement line (B1) perpendicular to an object surface (13), and at least one second sensor unit (2, 3) which is mounted on the carrier plate (Ia) and which is arranged to detect at least a first object edge (10b) of the object (11) during a movement of the sensor carrier (1) on a straight movement line (B2) parallel to the object surface (13).
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure automatique et d'apprentissage de positions de localisation d'objets (11) dans un système de traitement de substrat (20, 26) dans lequel un support de capteur (1) est déplacé au moyen d'un organe terminal effecteur (24). Des capteurs (2, 3, 4, 5a, 5b) du support de capteur (1) sont déplacés suivant des lignes de mouvement rectilignes (B1, B2, B3) en franchissant les bords (10a, 10b) de l'objet (11), chacun des capteurs (2, 3, 4, 5a, 5b) délivrant au moins un signal de capteur qui change de valeur lors de la détection d'un bord (10a, 10b). À partir des positions où se produisent les changements du signal le long des lignes de mouvement rectilignes respectives (B1, B2, B3), la position de localisation de l'objet (11) est déterminée. De plus, l'invention concerne un support de capteur sans fil mobile de type substrat permettant de mettre en œuvre le procédé de l'invention, comprenant une plaque de support (1a), au moins un premier capteur (4, 5a, 5b) qui est monté sur la plaque de support (1a) et qui est agencé de façon à détecter un premier bord d'objet (10a) et un second bord d'objet (10b) de l'objet (11) pendant un déplacement du support de capteur (1) suivant un mouvement rectiligne (B1) perpendiculaire à une surface d'objet (13), et au moins un second capteur (2, 3) qui est monté sur la plaque de support (1a) et qui est agencé de façon à détecter au moins un premier bord d'objet (10b) de l'objet (11) pendant le mouvement du support de capteur (1) suivant un mouvement rectiligne (B2) parallèle à la surface d'objet (13).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)