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1. (WO2010115171) CARBON NANOTUBE CONTACT STRUCTURES FOR USE WITH SEMICONDUCTOR DIES AND OTHER ELECTRONIC DEVICES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/115171    International Application No.:    PCT/US2010/029877
Publication Date: 07.10.2010 International Filing Date: 03.04.2010
IPC:
H01L 21/60 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01)
Applicants: FORMFACTOR, INC. [US/US]; 7005 Southfront Road Livermore, California 94551 (US) (For All Designated States Except US).
GRITTERS, John K. [US/US]; (US) (For US Only).
MARTENS, Rodney, I. [US/US]; (US) (For US Only).
YAGLIOGLU, Onnik [TR/US]; (US) (For US Only)
Inventors: GRITTERS, John K.; (US).
MARTENS, Rodney, I.; (US).
YAGLIOGLU, Onnik; (US)
Agent: HAUSER, Robert Scott; 7005 Southfront Road Livermore, California 94551 (US)
Priority Data:
12/418,368 03.04.2009 US
Title (EN) CARBON NANOTUBE CONTACT STRUCTURES FOR USE WITH SEMICONDUCTOR DIES AND OTHER ELECTRONIC DEVICES
(FR) STRUCTURES DE CONTACT À NANOTUBES DE CARBONE DESTINÉES À UN USAGE AVEC DES PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES ET D'AUTRES DISPOSITIFS ÉLECTRONIQUES
Abstract: front page image
(EN)A method of making carbon nanotube contact structures on an electronic device includes growing a plurality of carbon nanotube columns on a mandrel. Electrically-conductive adhesive is applied to ends of the columns distal from the mandrel, and the columns are transferred to the electronic device. An electrically-conductive material is deposited onto some or all of the columns. The mandrel can be reused to grow a second plurality of carbon nanotube columns.
(FR)La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication de structures de contact à nanotubes de carbone sur un dispositif électronique. Le procédé de fabrication selon l'invention consiste à mettre en croissance une pluralité de colonnes de nanotubes de carbone sur un mandrin. Un adhésif électroconducteur est appliqué sur des extrémités des colonnes, de façon distante par rapport au mandrin, et les colonnes sont transférées sur le dispositif électronique. Un matériau électroconducteur est déposé sur la totalité ou sur une partie seulement des colonnes. Le mandrin peut être réutilisé pour mettre en croissance une seconde pluralité de colonnes de nanotubes de carbone.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)