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1. (WO2010114141) NITROGEN-CONTAINING SILANE COMPOUND POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2010/114141 International Application No.: PCT/JP2010/056115
Publication Date: 07.10.2010 International Filing Date: 30.03.2010
Chapter 2 Demand Filed: 25.11.2010
IPC:
C01B 21/082 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
01
INORGANIC CHEMISTRY
B
NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF
21
Nitrogen; Compounds thereof
082
Compounds containing nitrogen and non-metals
Applicants: NISHIO, Masayuki[JP/JP]; JP (UsOnly)
NIIDA, Sadao[JP/JP]; JP (UsOnly)
SHIMAKAWA, Toshihiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
UBE INDUSTRIES, LTD.[JP/JP]; 1978-96, Oaza Kogushi, Ube-shi, Yamaguchi 7558633, JP (AllExceptUS)
Inventors: NISHIO, Masayuki; JP
NIIDA, Sadao; JP
SHIMAKAWA, Toshihiro; JP
Agent: AOKI, Atsushi; SEIWA PATENT & LAW, Toranomon 37 Mori Bldg., 5-1, Toranomon 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1058423, JP
Priority Data:
2009-08273030.03.2009JP
2009-08274730.03.2009JP
Title (EN) NITROGEN-CONTAINING SILANE COMPOUND POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) POUDRE D'UN COMPOSÉ DE SILANE CONTENANT DE L'AZOTE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 含窒素シラン化合物粉末及びその製造方法
Abstract:
(EN) Disclosed is a method for producing a nitrogen-containing silane compound having a high apparent density, which does not require a step for recovering an organic solvent or can be carried out with a smaller production equipment. The nitrogen-containing silane compound is capable of improving the productivity of a silicon nitride production process without requiring an additional step such as a press molding step. Specifically disclosed is a nitrogen-containing silane compound powder which is mainly composed of a silicon diimide that is obtained by reacting a halogenated silane compound with liquid ammonia, cleaning the reaction product with liquid ammonia, and then drying the resultant. The nitrogen-containing silane compound powder has an apparent density after drying of 0.10-0.30 g/cm3, and preferably has a halogen content concentration of 100 ppm or less on a weight basis. Also specifically disclosed is a method for producing a nitrogen-containing silane compound powder, which comprises a step wherein a halogenated silane compound in a solvent-free form or in the form of a solution of an inert organic solvent having a halogenated silane compound concentration of not less than 50 vol% is supplied by being discharged from a supply port that is arranged in liquid ammonia, when the halogenated silane compound is mixed and reacted with the liquid ammonia. It is preferable that the pressure within the reactor is maintained higher than the vapor pressure of liquid ammonia at the temperature of the reaction mixture contained in the reactor by 0.5 MPa or more by introducing an inert gas into the reactor.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un composé de silane contenant de l'azote qui a une densité apparente élevée, qui ne nécessite pas d'étape de récupération d'un solvant organique ou qui peut être réalisé avec un équipement de production plus petit. Le composé de silane contenant de l'azote est capable d'améliorer la productivité d'un procédé de fabrication de nitrure de silicium sans nécessiter d'étape supplémentaire telle qu'une étape de moulage en presse. L'invention concerne spécifiquement une poudre d'un composé de silane contenant de l'azote, qui est principalement composée d'un diimide de silicium qui est obtenu par mise en réaction d'un composé de silane halogéné avec de l'ammoniac liquide, lavage du produit de réaction avec de l'ammoniac liquide, puis séchage du produit résultant. La poudre de composé de silane contenant de l'azote a une densité apparente après séchage de 0,10 à 0,30 g/cm3, et de préférence une teneur en halogène de 100 ppm ou moins par rapport au poids. L'invention concerne également spécifiquement un procédé de fabrication d'une poudre d'un composé de silane contenant de l'azote, qui comprend une étape lors de laquelle un composé de silane halogéné sous une forme sans solvant ou sous la forme d'une solution dans un solvant organique inerte ayant une concentration en composé de silane halogéné supérieure ou égale à 50 % en volume est fourni en étant déchargé d'un port d'alimentation qui est placé dans de l'ammoniac liquide, le composé de silane halogéné étant mélangé et mis en réaction avec l'ammoniac liquide. Il est préférable que la pression dans le réacteur soit maintenue supérieure de 0,5 MPa ou plus à la pression de vapeur de l'ammoniac liquide à la température du mélange réactionnel contenu dans le réacteur par introduction d'un gaz inerte dans le réacteur.
(JA) 有機溶媒の回収工程を不要とするか又は小型化するとともに、見掛け密度の高い含窒素シラン化合物を提供し、加圧成型などの追加的な工程を経ることなく、窒化珪素の製造工程の生産性を高めることを目的とする。ハロゲン化シラン化合物と液体アンモニアを反応させ、液体アンモニアで洗浄し、乾燥させて得られる、主としてシリコンジイミドよりなる含窒素シラン化合物粉末であり、乾燥後の見掛け密度が0.10~0.30g/cm3であり、好ましくは含有されるハロゲン分の濃度が重量基準で100ppm以下である、含窒素シラン化合物粉末。ハロゲン化シラン化合物を液体アンモニアと混合して反応させるに際し、ハロゲン化シラン化合物を無溶媒かあるいはハロゲン化シラン化合物濃度が50vol%以上の不活性有機溶媒の溶液として液体アンモニア中に設置した供給口から吐出させて供給することを含む、含窒素シラン化合物粉末の製造方法。不活性ガスを反応器内に導入することにより、該反応器内の圧力を、該反応器内に含有される反応混合物の温度における液体アンモニアの蒸気圧より0.5MPa以上高く保つことが好ましい。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)