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1. (WO2010113744) AGENT FOR REMOVING CONDUCTIVE FILM AND METHOD FOR REMOVING CONDUCTIVE FILM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/113744    International Application No.:    PCT/JP2010/055178
Publication Date: 07.10.2010 International Filing Date: 25.03.2010
IPC:
C09K 13/04 (2006.01), C09K 13/02 (2006.01), C09K 13/06 (2006.01), H01B 13/00 (2006.01), H01J 11/02 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01), H05K 3/06 (2006.01)
Applicants: TORAY INDUSTRIES, INC. [JP/JP]; 1-1, Nihonbashi-Muromachi 2-chome Chuo-ku, Tokyo 1038666 (JP) (For All Designated States Except US).
SEKIGUCHI, Hiroki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATA, Junji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SEKIGUCHI, Hiroki; (JP).
MATA, Junji; (JP)
Priority Data:
2009-081411 30.03.2009 JP
2009-263510 19.11.2009 JP
Title (EN) AGENT FOR REMOVING CONDUCTIVE FILM AND METHOD FOR REMOVING CONDUCTIVE FILM
(FR) AGENT D'ÉLIMINATION D'UN FILM CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION D'UN FILM CONDUCTEUR
(JA) 導電膜除去剤および導電膜除去方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is an agent for removing a conductive film, which contains: an acid having a boiling point of not less than 80˚C, a base having a boiling point of not less than 80˚C, or a compound that generates an acid or a base by the action of an external energy; a solvent; a resin; and a leveling agent. Also disclosed is a method for removing a conductive film, which uses the agent for removing a conductive film. The agent for removing a conductive film and the method for removing a conductive film are capable of in-plane uniformly removing a desired portion of a conductive film.
(FR)L'agent d'élimination d'un film conducteur ci-décrit contient : un acide ayant un point d'ébullition qui n'est pas inférieur à 80°C, une base ayant un point d'ébullition qui n'est pas inférieur à 80°C, ou un composé qui génère un acide ou une base sous l'action d'une énergie externe ; un solvant ; une résine ; et un agent de nivellement. Un procédé permettant d'éliminer un film conducteur qui utilise l'agent d'élimination d'un film conducteur selon l'invention est également décrit. L'agent d'élimination d'un film conducteur et le procédé permettant d'éliminer un film conducteur selon l'invention sont capables d'éliminer uniformément dans le plan une partie souhaitée d'un film conducteur.
(JA) 本発明は沸点が80℃以上の酸または沸点が80℃以上の塩基もしくは外部エネルギーにより酸または塩基を発生させる化合物、溶媒、樹脂およびレベリング剤を含む導電膜除去剤およびそれを用いた導電膜除去方法である。 本発明は導電膜の所望部分を面内均一に除去することが可能な導電膜除去剤および導電膜除去方法を提供する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)