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1. (WO2010112676) A CASING OF A SENSOR MEASURING OSCILLATIONS, AND A SENSOR FOR MEASURING OSCILLATIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/112676    International Application No.:    PCT/FI2010/050247
Publication Date: 07.10.2010 International Filing Date: 29.03.2010
IPC:
B81C 1/00 (2006.01), B81B 7/00 (2006.01), H03H 9/05 (2006.01), H01L 23/04 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), B06B 1/00 (2006.01)
Applicants: VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS [FI/FI]; Vuorimiehentie 3 FI-02044 Vtt (FI) (For All Designated States Except US).
SILLANPÄÄ, Teuvo [FI/FI]; (FI) (For US Only).
KÄRKKÄINEN, Anu [FI/FI]; (FI) (For US Only).
PEKKO, Panu [FI/FI]; (FI) (For US Only)
Inventors: SILLANPÄÄ, Teuvo; (FI).
KÄRKKÄINEN, Anu; (FI).
PEKKO, Panu; (FI)
Agent: BERGGREN OY AB; P.O. Box 16 (Antinkatu 3 C) FI-00101 Helsinki (FI)
Priority Data:
20095340 30.03.2009 FI
Title (EN) A CASING OF A SENSOR MEASURING OSCILLATIONS, AND A SENSOR FOR MEASURING OSCILLATIONS
(FR) ENVELOPPE D'UN CAPTEUR DE MESURE D'OSCILLATIONS, ET CAPTEUR POUR MESURER DES OSCILLATIONS
Abstract: front page image
(EN)Oscillations are measured by an electromechanical sensor having a first surface with a groove (502) therein to separate a kinetic mass part (503) and a frame part (504) from each other. A casing encloses a sensor chip (112) and a circuit element (113, 322) for detecting a phenomenon occurring as the kinetic mass part moves. The sensor chip (112) is attached to an inner surface (506, 706) of the casing at the frame part side of the groove. The first surface (501) of the sensor chip, the inner surface (506, 706) of the casing, and the attachment (507, 707) of the sensor chip define a closed space into which the groove (502) opens.
(FR)L'invention porte sur un capteur électromécanique destiné à mesurer des oscillations, comprenant une première surface présentant une rainure (502), pour séparer une partie masse cinétique (503) et une partie cadre (504) l'une de l'autre. Une enveloppe enferme une puce de détection (112) et un élément de circuit (113, 322) pour détecter un phénomène qui se produit quand la partie masse cinétique se déplace. La puce de détection (112) est fixée à une surface interne (506, 706) de l'enveloppe au niveau du côté partie cadre de la rainure. La première surface (501) de la puce de détection, la surface interne (506, 706) de l'enveloppe et la fixation (507, 707) de la puce de détection, définissent un espace fermé dans lequel s'ouvre la rainure (502).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Finnish (FI)