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1. (WO2010112268) METHOD FOR DETECTING ACCELERATIONS AND ROTATION RATES, AND MEMS SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/112268    International Application No.:    PCT/EP2010/052202
Publication Date: 07.10.2010 International Filing Date: 22.02.2010
IPC:
G01C 19/56 (2012.01), G01P 15/14 (2006.01)
Applicants: SENSORDYNAMICS AG [AT/AT]; Schloss Eybesfeld 1e A-8403 Graz-Lebring (AT) (For All Designated States Except US).
ROCCHI, Alessandro [IT/IT]; (IT) (For US Only)
Inventors: ROCCHI, Alessandro; (IT)
Agent: BERGMEIER, Werner; Friedrich-Ebert-Straße 84 85055 Ingolstadt (DE)
Priority Data:
10 2009 002 066.7 31.03.2009 DE
Title (EN) METHOD FOR DETECTING ACCELERATIONS AND ROTATION RATES, AND MEMS SENSOR
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ACCÉLÉRATIONS ET DE VITESSES DE ROTATION, ET CAPTEUR MEMS
Abstract: front page image
(EN)The invention concerns a MEMS sensor and a method for detecting accelerations along, and rotation rates about, at least one, preferably two of three mutually perpendicular spatial axes x, y and z by means of a MEMS sensor (1), wherein at least one driving mass (6; 6.1, 6.2) and at least one sensor mass (5) are moveably arranged on a substrate (2) and the at least one driving mass (6; 6.1, 6.2) is moved relative to the at least one sensor mass (5) in oscillation at a driving frequency and when an external acceleration of the sensor occurs, driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and sensor mass/es (5) are deflected at an acceleration frequency and, when an external rotation rate of the sensor (1) occurs, are deflected at a rotation rate frequency, and the acceleration frequency and rotation rate frequency are different. At the MEMS-sensor the driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and sensor mass/es (5) are arranged on the substrate (2), and are balanced in the resting state by means of at least one of the anchors (3). In the driving mode the driving mass/es (6; 6.1, 6.2), when vibrating in oscillation about this at least one anchor (3), generate/s an imbalance of the driving mass/es (6; 6.1, 6.2) and the sensor mass/es (5) with respect to this at least one anchor (3), and the sensor elements detect deflections of the driving and sensor masses, due to torques and Coholis forces generated, with an acceleration frequency and/or a rotation rate frequency.
(FR)L'invention concerne un capteur MEMS et un procédé de détection d'accélérations le long, et de vitesses de rotation autour, d'au moins un, de préférence deux, parmi trois axes spatiaux perpendiculaires les uns aux autres x, y et z au moyen d'un capteur MEMS (1). Au moins une masse d'excitation (6 ; 6.1 , 6.2) et au moins une masse de détection (5) sont montées mobiles sur un substrat (2) et la (les) masse(s) d'excitation (6 ; 6.1, 6.2) est (sont) mise(s) en oscillation par rapport à la (aux) masse(s) de détection (5) à une certaine fréquence d'excitation et, en présence d'une accélération externe du capteur, la (les) masse(s) d'excitation (6 ; 6.1, 6.2) et la (les) masse(s) de détection (5) sont déviées à une certaine fréquence d'accélération et, en présence d'une vitesse de rotation externe du capteur (1), elles sont déviées à une certaine fréquence de vitesse de rotation, la fréquence d'accélération étant différente de la fréquence de vitesse de rotation. Au niveau du capteur MEMS, la (les) masse(s) d'excitation (6 ; 6.1, 6.2) et la (les) masse(s) de détection (5) sont montées sur le substrat (2), et mises en équilibre dans l'état de repos au moyen d'au moins un des ancrages (3). En mode d'excitation, la (les) masse(s) (6 ; 6.1, 6.2) oscillant autour de cet ancrage (3) produit (produisent) un déséquilibre de la (des) masse(s) (6; 6.1, 6.2) et de la (des) masse(s) de détection (5) par rapport à cet ancrage (3), et les éléments de détection du capteur détectent les déviations des masses d'excitation et de détection dues aux couples et aux forces de Coriolis créés, avec une fréquence d'accélération et/ou une fréquence de vitesse de rotation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)