Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2010089958 - CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE

Publication Number WO/2010/089958
Publication Date 12.08.2010
International Application No. PCT/JP2010/000279
International Filing Date 20.01.2010
IPC
H01J 37/18 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
18Vacuum locks
H01J 37/244 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/28 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28with scanning beams
CPC
H01J 2237/2443
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2443Scintillation detectors
H01J 2237/2445
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2445Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
H01J 2237/2605
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
2602Details
2605operating at elevated pressures, e.g. atmosphere
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Applicants
  • 株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 片根純一 KATANE, Junichi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 伊東祐博 ITO, Sukehiro [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventors
  • 片根純一 KATANE, Junichi
  • 伊東祐博 ITO, Sukehiro
Agents
  • 井上学 INOUE, Manabu
Priority Data
2009-02549506.02.2009JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉMISSION DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract
(EN)
Disclosed is a charged particle radiation scanning device comprised of a sample chamber (8) and a detector.  The detector has a function for detecting at least light ranging from a vacuum ultraviolet range to the visible light range among light (17) having image information obtained by a luminescent phenomenon caused by gas scintillation when the sample chamber is controlled in low vacuum (1 to 3,000 Pa), and a function for detecting ion currents (11, 13) having image information obtained by the cascade amplification of electrons and gas molecules.  Thus, the device which can observe various samples can be realized.  Further, the structure of the detector is optimized, so that a new value is added to the obtained image, and the observed image can be provided to users in a wide range of fields. Further, the detector is used with a high-vacuum detector, so that the image can be provided to users in a wide range of fields regardless of a vacuum mode.
(FR)
L'invention porte sur un dispositif de balayage de faisceau de particules chargées comprenant une chambre d'échantillons (8) et un détecteur. Le détecteur remplit une fonction de détection de lumière allant au moins d'un domaine de l'ultraviolet du vide au domaine de la lumière visible parmi de la lumière (17) comprenant des informations d'image obtenues par un phénomène de luminescence provoqué par scintillation gazeuse lorsque la chambre d'échantillons est commandée dans un vide grossier (1 à 3 000 Pa), et une fonction de détection de courants ioniques (11, 13) comprenant des informations d'image obtenues par l'amplification en cascade d'électrons et de molécules de gaz. Le dispositif réalisé peut donc observer divers échantillons. En outre, la structure du détecteur est optimisée de telle manière qu'une nouvelle valeur est ajoutée à l'image obtenue et que l'image observée peut être présentée à des utilisateurs dans un large éventail de domaines. En outre, le détecteur est utilisé avec un détecteur à vide poussé, de sorte que l'image peut être présentée à des utilisateurs dans un large éventail de domaines, indépendamment d'un mode de vide.
(JA)
 本発明の走査荷電粒子線装置は、試料室(8)と、検出器とを備え、前記検出器は前記試料室が低真空(1Pa~3000Pa)に制御されている際に、ガスシンチレーションによる発光現象によって得られる画像情報を持つ光(17)のうちの少なくとも真空紫外領域から可視光領域までの光を検出する機能と、電子とガス分子のカスケード増幅によって得られる画像情報を持ったイオン電流(11,13)とを検出する機能とを併せ持つ。これにより、さまざまなサンプルの観察に対応できる装置を実現できるようになり、更に、上記検出部の最適構成を考案することにより、得られる画像に付加価値を与えて、その観察画像を幅広い分野のユーザに提供することができるようになった。また、上記検出器を高真空用検出器と併用可能とすることにより、真空モードに捉われずに幅広いユーザに画像を提供することができるようになった。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau