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1. (WO2010085337) METHOD OF FABRICATION OF MICRO AND NANOFILTERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2010/085337 International Application No.: PCT/US2010/000144
Publication Date: 29.07.2010 International Filing Date: 21.01.2010
IPC:
B01D 39/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
D
SEPARATION
39
Filtering material for liquid or gaseous fluids
Applicants:
CREATV MICROTECH, INC. [US/US]; 11609 Lake Potomac Drive Potomac, Maryland 20854, US (AllExceptUS)
TANG, Cha-Mei [US/US]; US (UsOnly)
MAKAROVA, Olga [US/US]; US (UsOnly)
HOFFBAUER, Mark [US/US]; US (UsOnly)
WILLIAMSON, Todd [US/US]; US (UsOnly)
AMSTUTZ, Platte [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
TANG, Cha-Mei; US
MAKAROVA, Olga; US
HOFFBAUER, Mark; US
WILLIAMSON, Todd; US
AMSTUTZ, Platte; US
Agent:
DAVIS, Garrett; Roylance, Abrams, Berdo & Goodman, L.L.P: 1300 19th Street Suite 600 Washington, District of Columbia 20036, US
Priority Data:
61/146,15721.01.2009US
Title (EN) METHOD OF FABRICATION OF MICRO AND NANOFILTERS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MICRO- ET NANOFILTRES
Abstract:
(EN) Micro- and nanofilters have a wide range of applications in many fields, including medical diagnostics, drug delivery, medical implants, and hemodialysis. Some issues that limit commercial application of current nanofilters in medicine are low pore density, non-uniform pore size, and the use of materials that are not biocompatible. A method is described to fabricate high porosity polymer and diamond micro- and nanofilters producing smooth, uniform and straight pores of high aspect ratio. Pore size, density, and shape can be predetermined with a high degree of precision by masks and controlled etch. The method combines energetic neutral atom beam lithography and a mask. This technology allows etching polymeric materials in a clean, well-controlled, and charge-free environment, making it very suitable for fabricating nanofilters and other components for biomedical applications.
(FR) Les micro- et nanofiltres ont une large gamme d'application dans de nombreux domaines, comprenant les diagnostics médicaux, l'administration de médicaments, les implants médicaux et l'hémodialyse. Certains problèmes qui limitent l'application industrielle de nanofiltres courants en médecine sont la faible densité des pores, une taille de pore non uniforme et l'utilisation des matériaux qui ne sont pas biocompatibles. L'invention porte sur un procédé de fabrication d'un polymère à porosité élevée et de micro- et nanofiltres de diamant produisant des pores lisses, uniformes et rectilignes de rapport d'allongement élevé. La dimension des pores, la densité et la forme peuvent être prédéterminées avec un degré élevé de précision par des masques et une attaque contrôlée. Le procédé combine la lithographie par faisceaux atomiques neutres énergétiques et un masque. Cette technologie permet l'attaque de matières polymères dans un environnement propre, bien contrôlé et exempt de charge, le rendant très approprié pour la fabrication de nanofiltres et autres composants pour des applications biomédicales.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)