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1. (WO2010082066) SURFACE CHARACTERISTIC DETERMINING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2010/082066 International Application No.: PCT/GB2010/050063
Publication Date: 22.07.2010 International Filing Date: 15.01.2010
IPC:
G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24
for measuring contours or curvatures
Applicants:
UNIVERSITY OF HUDDERSFIELD [GB/GB]; Queensgate Huddersfield, Yorkshire HD1 3DH, GB (AllExceptUS)
JIANG, Xiangqian [GB/GB]; GB (UsOnly)
WANG, Kaiwei [CN/GB]; GB (UsOnly)
GAO, Feng [GB/GB]; GB (UsOnly)
MUHAMEDSALIH, Hussam [GB/GB]; GB (UsOnly)
Inventors:
JIANG, Xiangqian; GB
WANG, Kaiwei; GB
GAO, Feng; GB
MUHAMEDSALIH, Hussam; GB
Agent:
CLARK, Jane; Mathys & Squire LLP 120 Holborn London Greater London EC1N 2SQ, GB
Priority Data:
0900705.516.01.2009GB
Title (EN) SURFACE CHARACTERISTIC DETERMINING APPARATUS
(FR) APPAREIL SERVANT A DETERMINER DES CARACTERISTIQUES DE SURFACE
Abstract:
(EN) A wavelength selector (5) selects a wavelength of a broadband light source (4). A light director (BS1, BS2) directs light from the wavelength selector along a measurement path towards a region of a sample surface and along a reference path towards a reference surface,such that light reflected by the region of the sample surface and light reflected by the reference surface interfere to produce an interferogram. A controller (20) controls the wavelength selector to change the wavelength selected by the wavelength selector. A recorder (63) records successive images,each image representing the interferogram produced by a respective one of the wavelengths selected by the wavelength selector. A data processor (18, 180) processes the recorded images to produce at least one of a surface profile and a surface height map of at least a part of the sample surface. The reference path may be controlled to compensate for environmental effects such as vibration, thermal effects and air turbulence. The data processor may use a graphics processing unit to enable pixel data to be processed in parallel.
(FR) Selon l'invention, un sélecteur de longueurs d'onde (5) sélectionne une longueur d'onde d'une source de lumière à large bande (4). Un dispositif d'orientation de lumière (BS1, BS2) dirige la lumière provenant du sélecteur de longueurs d'onde sur un trajet de mesure, vers une zone d'une surface d'échantillon, et sur un trajet de référence, vers une surface de référence, de sorte que la lumière réfléchie par la zone de surface d'échantillon et la lumière réfléchie par la surface de référence s'interfèrent pour produire un interférogramme. Une unité de commande (20) commande le sélecteur de longueurs d'onde pour modifier la longueur d'onde sélectionnée. Un enregistreur (63) enregistre des images successives, chaque image représentant l'interférogramme produit par une longueur d'onde respective sélectionnée par le sélecteur. Un processeur de données (18, 180) traite les images enregistrées pour produire au moins un profil de surface ou une carte de hauteurs de surface pour au moins une partie de la surface d'échantillon. Le trajet de référence peut être commandé de sorte à compenser les effets environnementaux, tels que les vibrations, les effets thermiques et les turbulences de l'air. Le processeur de données peut mettre en oeuvre une unité de traitement graphique pour permettre le traitement en parallèle de données de pixel.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
EP2387695JP2012515341US20120026508JP2015145876