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1. (WO2010079730) ULTRASONIC FLAW DETECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2010/079730 International Application No.: PCT/JP2010/000001
Publication Date: 15.07.2010 International Filing Date: 04.01.2010
IPC:
G01N 29/04 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
29
Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
04
Analysing solids
Applicants:
上野順 UENO, Jun [JP/JP]; JP
石川正武 ISHIKAWA, Masatake [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventors:
上野順 UENO, Jun; JP
石川正武 ISHIKAWA, Masatake; JP
Agent:
稲葉良幸 INABA, Yoshiyuki; 東京都港区六本木6-10-1 六本木ヒルズ森タワー23階 TMI総合法律事務所 TMI ASSOCIATES, 23rd Floor, Roppongi Hills Mori Tower, 6-10-1, Roppongi, Minato-ku, Tokyo 1066123, JP
Priority Data:
2009-00244708.01.2009JP
Title (EN) ULTRASONIC FLAW DETECTOR
(FR) DÉTECTEUR DE DÉFAUTS À ULTRASONS
(JA) 超音波探傷装置
Abstract:
(EN) Provided is an ultrasonic flaw detector which has a simple configuration and a low cost, while correctly detecting and inspecting flaws of a cylindrical sputtering target. The ultrasonic flaw detector has: a probe which transmits and receives ultrasonic waves to and from the surface of the sputtering target; a probe shifting mechanism which linearly shifts the probe in the X direction and the Y direction within the horizontal plane with respect to the sputtering target; and a power transmitting mechanism, which converts the linear shift in the Y direction performed by the probe shifting mechanism into a rotational shift in the circumferential direction of the sputtering target and rotationally shifts the sputtering target.
(FR) L'invention concerne un détecteur de défauts à ultrasons possédant une structure simple et un faible coût, et conçu pour détecter correctement et inspecter les défauts d'une cible de pulvérisation cylindrique. Le détecteur de défauts à ultrasons comprend : une sonde conçue pour émettre/recevoir des ondes ultrasonores à destination/en provenance de la surface de la cible de pulvérisation ; un mécanisme de décalage de sonde conçu pour décaler linéairement la sonde dans la direction X et dans la direction Y dans le plan horizontal par rapport à la cible de pulvérisation ; et un mécanisme de transmission de puissance conçu pour convertir le décalage linéaire dans la direction Y réalisé par le mécanisme de décalage de sonde en un décalage en rotation dans la direction circonférentielle de la cible de pulvérisation et pour réaliser le décalage en rotation de la cible de pulvérisation.
(JA) 【課題】円筒状のスパッタリングターゲットの探傷検査を適正に行いつつ、構成が簡易で安価な超音波探傷装置を提供する。 【解決手段】超音波探傷装置は、スパッタリングターゲットの表面に対し超音波を発信し受信するプローブと、プローブをスパッタリングターゲットに対し水平面内のX方向とY方向に直線移動させるプローブ移動機構と、プローブ移動機構のY方向の直線移動をスパッタリングターゲットの周方向の回転移動に変換して、スパッタリングターゲットを回転移動させる動力伝達機構とを有している。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)