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1. (WO2010077675) TWO GRATING LATERAL SHEARING WAVEFRONT SENSOR
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Pub. No.: WO/2010/077675 International Application No.: PCT/US2009/067189
Publication Date: 08.07.2010 International Filing Date: 08.12.2009
IPC:
G01J 9/02 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
9
Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
02
by interferometric methods
Applicants:
ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448, US (AllExceptUS)
KÜCHEL, Michael [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
KÜCHEL, Michael; DE
Agent:
BOWLEY, Chris, C.; Fish & Richardson P.C. P.O. Box 1022 Minneapolis, MN 55440-1022, US
Priority Data:
61/201,27009.12.2008US
Title (EN) TWO GRATING LATERAL SHEARING WAVEFRONT SENSOR
(FR) CAPTEUR DE FRONT D'ONDE DE CISAILLEMENT LATÉRAL À DOUBLE RÉSEAU DE DIFFRACTION
Abstract:
(EN) Methods include simultaneously diffracting a beam in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction to form a once-diffracted beam, where the beam comprises a wavefront shaped by a test object, simultaneously diffracting the once-diffracted beam in orthogonal directions to form a twice-diffracted beam, overlapping at least two orders of the twice-diffracted beam in each direction to form an interference pattern at a detector, the interference pattern being formed by multiple copies of the wavefront laterally sheared in the first direction and multiple copies of the wavefront laterally sheared in the second direction; and determining information about the wavefront based on the interference pattern.
(FR) La présente invention porte sur des procédés consistant à diffracter simultanément un faisceau dans une première direction et dans une deuxième direction orthogonale à la première direction de façon à former un faisceau diffracté une fois, le faisceau comprenant un front d'onde mis en forme par un objet de test, diffracter simultanément le faisceau diffracté une fois dans des directions orthogonales de façon à former un faisceau diffracté deux fois, faire se chevaucher d'au moins deux ordres le faisceau diffracté deux fois dans chaque direction afin de former une configuration d'interférences au niveau d'un détecteur, la configuration d'interférences étant formée par des copies multiples du front d'onde cisaillé latéralement dans la première direction et de copies multiples du front d'onde cisaillé latéralement dans la deuxième direction ; et déterminer une information concernant le front d'onde en fonction de la configuration d'interférences.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
JP2012511728